公开(公告)号：CN101452208B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN200810185741.6

申请日：2008-12-08

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李吉成 ,  金宰贤 ,  李昌珉 ,  郑义俊 ,  韩权愚 ,  权五范 ,  崔定植 ,  金钟涉 ,  张斗远 ,  赵贞贤 ,  郑瑟永

IPC: G03F7/028 ,  H01L21/82 ,  H01L27/146

CPC classification number: G03F7/033

Abstract: 本发明提供了一种用于垫片保护层的光敏树脂组合物以及利用该光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。该组合物包括(A)碱溶性树脂、(B)活性不饱和化合物、(C)光引发剂以及(D)溶剂。(A)碱溶性树脂包括这样的共聚物，该共聚物包括5至50wt％的具有以下化学式1的构成单元、1至25wt％的具有以下化学式2的构成单元以及45至90wt％的具有以下化学式3的构成单元，并且提供了一种利用光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。在下述化学式中，R11至R13、R21至R24以及R31至R33与在具体实施方式中所定义的相同。用于垫片保护层的光敏树脂组合物具有良好的图案化和蚀刻性能以及耐化学性，因此可以提供没有下部外敷层的图像传感器，。

公开(公告)号：CN101452208A

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200810185741.6

申请日：2008-12-08

Applicant: 第一毛织株式会社

Inventor： 李吉成 ,  金宰贤 ,  李昌珉 ,  郑义俊 ,  韩权愚 ,  权五范 ,  崔定植 ,  金钟涉 ,  张斗远 ,  赵贞贤 ,  郑瑟永

IPC: G03F7/028 ,  H01L21/82 ,  H01L27/146

CPC classification number: G03F7/033

Abstract: 本发明提供了一种用于垫片保护层的光敏树脂组合物以及利用该光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。该组合物包括(A)碱溶性树脂、(B)活性不饱和化合物、(C)光引发剂以及(D)溶剂。(A)碱溶性树脂包括这样的共聚物，该共聚物包括5至50wt％的具有以上化学式1的构成单元、1至25wt％的具有以上化学式2的构成单元以及45至90wt％的具有以上化学式3的构成单元，并且提供了一种利用光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。在下述化学式中，R11至R13、R21至R24以及R31至R33与在具体实施方式中所定义的相同。用于垫片保护层的光敏树脂组合物具有良好的图案化和蚀刻性能以及耐化学性，因此可以提供没有下部外敷层的图像传感器。