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公开(公告)号：CN102531910A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110301200.7
申请日：2011-09-28
IPC: C07C205/42 , C07C201/12 , G03F7/039
CPC classification number: C07C205/42 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明提供了包括由化学式1表示的化合物的邻硝基苄酯化合物，和包含该邻硝基苄酯化合物的正型光敏树脂组合物。本发明还提供了一种利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号：CN102557945A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110374282.8
申请日：2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0226 , C07C69/84 , G03F7/0233
Abstract: 本发明公开了一种新型酚化合物和包含其的正性光敏树脂组合物，所述新型酚化合物选自由化学式1表示的化合物、由化学式2表示的化合物、以及它们的组合。所述正性光敏树脂组合物具有优异的感光度、分辨率、图案形成性能、残留物除去性能、机械性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN102540725A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110374325.2
申请日：2011-11-22
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物，所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。在上述化学式1中，各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号：CN104641292B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201380048934.6
申请日：2013-04-09
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/105
Abstract: 本发明是有关于用于显示装置绝缘膜的光敏树脂组成物、使用其的显示装置绝缘膜、及使用其的显示装置，所述组成物包括(A)一碱可溶树脂；(B)一光敏重氮醌化合物；(C)一有色材料，其具有400‑550nm的最大吸收波长；及(D)一溶剂。基于此，可实现高敏感性、高解析度，及优异图案性能及显影性，避免于相邻像素间漏光，及增加色纯度。
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公开(公告)号：CN104375379A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410211550.8
申请日：2014-05-19
Applicant: 第一毛织株式会社
Inventor： 权志伦 , 姜真熙 , 金大润 , 金上权 , 金尚洙 , 金容台 , 卢健培 , 朴银碧 , 白载烈 , 宋在焕 , 尹银卿 , 李范珍 , 李种和 , 李珍泳 , 洪忠范 , 黄银夏 , 黄仁澈
CPC classification number: G03F7/0226 , G03F7/0045 , G03F7/0233 , G03F7/0755
Abstract: 本发明公开了正性光敏树脂组合物、光敏树脂膜和用其制备的显示装置。所述正性光敏树脂组合物包括：(A)碱溶性树脂；(B)光敏重氮醌化合物；(C)包含由化学式1或化学式2表示的化合物中的至少一种的第一溶解控制剂；(D)包含由化学式3表示的化合物的第二溶解控制剂；以及(E)溶剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103186048A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210351065.1
申请日：2012-09-19
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/105 , G03F7/0233 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供了正性光敏树脂组合物，及使用其的光敏树脂层和显示装置。该组合物包括选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体，及其组合的（A）碱溶性树脂，（B）光敏重氮醌化合物，（C）苯酚化合物，（D）具有400nm到700nm吸收波长的至少一种有机染料，以及（E）溶剂，其中基于100重量份的碱溶性树脂（A），包括1至40重量份的有机染料（D）。
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公开(公告)号：CN102566275A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110378325.X
申请日：2011-11-24
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/0751 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明披露了一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的重复单元的酚醛树脂；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及利用该正型光敏树脂制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的敏感度、可显影能力、膜残留率、和分辨率、以及较低的膜收缩比率。[化学式6]
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公开(公告)号：CN103135354B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210272274.7
申请日：2012-08-01
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/016 , G02F1/1333 , H01L23/29
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN102540725B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201110374325.2
申请日：2011-11-22
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种正性光敏树脂组合物，所述正性光敏树脂组合物包括(A)包含由下列化学式1表示的重复单元的聚苯并噁唑前体；(B)光敏重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)酚化合物；和(E)溶剂。在上述化学式1中，各个取代基与说明书中所限定的相同。本发明的正性光敏树脂组合物具有高感光度、高分辨率、良好的图案形成性能和优异的残留物除去性能。[化学式1]
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公开(公告)号：CN103186039A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210287599.2
申请日：2012-08-13
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G8/28 , C08G73/22 , C08L61/14 , C08L79/04 , G03F7/023 , H01L23/293 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种光敏酚醛清漆树脂和包含其的正性光敏树脂组合物。所述光敏酚醛清漆树脂包含由下列化学式1表示的结构单元和由下列化学式2表示的结构单元。此外，本发明还涉及使用正性光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜；以及包含所述光敏树脂组合物的半导体装置。 在化学式1和2中，R11、R12、R13和R14与具体实施方式中所定义的相同。
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