照射装置及照射方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103107063A

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN201210457173.7

    申请日:2012-11-14

    CPC classification number: H01J17/28 B41J11/002 H01J61/28

    Abstract: 本发明提供一种照射装置及照射方法,能够调整光源的温度从而能够对应光源的特征地良好地维持光源的功能。照射装置,具有:光源,其具有在光源管的内表面的一部分配置的汞齐合金体;和在内部配置有所述光源的腔室,腔室具有:腔室主体;和在腔室主体形成的第一气体流入口及第一气体流出口,第一气体流入口及第一气体流出口以使得光源管中的配设有汞齐合金体的部分的外表面位于从第一气体流入口流入而从第一气体流出口流出的气体的流路之中的方式配设。

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