公开(公告)号：CN101238054B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200680029042.1

申请日：2006-08-11

Applicant: 精炼株式会社

Inventor： 新家英正 ,  高岛健一 ,  高木进

IPC: B65H5/00 ,  B65H3/18

CPC classification number: B65H5/004 ,  B65H3/18

Abstract: 本发明提供一种廉价的静电吸附输送装置，可高速传送，能够使静电吸附板与薄膜等输送对象物之间的接触状态保持恒定，且输送对象物上不会产生微小缺陷。

公开(公告)号：CN101238054A

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200680029042.1

申请日：2006-08-11

Applicant: 精炼株式会社

Inventor： 新家英正 ,  高岛健一 ,  高木进

IPC: B65H5/00 ,  B65H3/18

CPC classification number: B65H5/004 ,  B65H3/18

Abstract: 本发明提供一种廉价的静电吸附输送装置，可高速传送，能够使静电吸附板与薄膜等输送对象物之间的接触状态保持恒定，且输送对象物上不会产生微小缺陷。