公开(公告)号：CN1379459A

公开(公告)日：2002-11-13

申请号：CN02102090.6

申请日：2002-01-22

Applicant: 索尼株式会社 ,  索尼精密技术株式会社

Inventor： 和田裕之 ,  田附幸一 ,  梅津畅彦 ,  矶村英二 ,  阿部哲夫 ,  服部正 ,  大岛朗文 ,  浦垣诚 ,  野口良行 ,  玉置洋之 ,  江部正孝 ,  石黑朋广 ,  加藤康行

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/00

CPC classification number: G01N21/956

Abstract: 以不接触方式自动客观地评估多晶硅薄膜状态的多晶硅薄膜评估装置包括可移动的工作台,其上面设置承载多晶硅薄膜的基片;用可见光观察的光学系统,对多晶硅薄膜的表面图像拍照,以实现自动聚焦;用紫外光观察的光学系统,用于获得多晶硅薄膜的表面图像,利用用可见光观察的光学系统进行自动聚焦;以及评估单元,从表面图像评估该多晶硅薄膜表面空间结构的线性和周期性,以根据该线性和周期性的评估结果来评估该多晶硅薄膜的状态。

公开(公告)号：CN1215543C

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN02102090.6

申请日：2002-01-22

Applicant: 索尼株式会社 ,  索尼精密技术株式会社

Inventor： 和田裕之 ,  田附幸一 ,  梅津畅彦 ,  矶村英二 ,  阿部哲夫 ,  服部正 ,  大岛朗文 ,  浦垣诚 ,  野口良行 ,  玉置洋之 ,  江部正孝 ,  石黑朋广 ,  加藤康行

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/00 ,  G01N21/00 ,  B07C5/10

CPC classification number: G01N21/956

Abstract: 以不接触方式自动客观地评估多晶硅薄膜状态的多晶硅薄膜评估装置包括可移动的工作台，其上面设置承载多晶硅薄膜的基片；用可见光观察的光学系统，对多晶硅薄膜的表面图像拍照，以实现自动聚焦；用紫外光观察的光学系统，用于获得多晶硅薄膜的表面图像，利用用可见光观察的光学系统进行自动聚焦；以及控制器，从表面图像评估该多晶硅薄膜表面空间结构的线性和周期性，以根据该线性和周期性的评估结果来评估该多晶硅薄膜的状态。

公开(公告)号：CN1077041C

公开(公告)日：2002-01-02

申请号：CN97105442.8

申请日：1997-06-09

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 鞭常雄 ,  野口良行

IPC: B41F17/00

CPC classification number: B41F17/001 ,  B41P2217/53

Abstract: 印刷设备具有一个支撑筒，其上制有许多连通孔并包覆着一个可随压力胀缩的转印套。油墨粘附在该可膨胀/收缩的转印套上，转印套以收缩的状态插入到要被印刷物件的圆筒形孔内。从转印套的内部施加压力使它膨胀并使其外表面抵压在圆筒形孔的内表面上，从而将粘附在转印套外表面上的油墨转印到圆筒形孔的内表面上。

公开(公告)号：CN1169917A

公开(公告)日：1998-01-14

申请号：CN97105442.8

申请日：1997-06-09

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 鞭常雄 ,  野口良行

IPC: B41F17/08

CPC classification number: B41F17/001 ,  B41P2217/53

Abstract: 印刷设备具有一个支撑筒,其上制有许多连通孔并包覆着一个可随压力胀缩的转印套。油墨粘附在该可膨胀/收缩的转印套上,转印套以收缩的状态插入到要被印刷物件的圆筒形孔内。从转印套的内部施加压力使它膨胀并使其外表面抵压在圆筒形孔的内表面上,从而将粘附在转印套外表面上的油墨转印到圆筒形孔的内表面上。