公开(公告)号：CN105263856A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201380060125.7

申请日：2013-09-17

Applicant: 纳米资源有限公司

Inventor： 罗伯特·戴维森·宾斯 ,  克里斯托弗·罗宾·宾斯

IPC: B82Y25/00 ,  H01J1/00 ,  H01F41/30

CPC classification number: H01F1/0551 ,  B82Y25/00 ,  C23C14/223 ,  H01F1/0054 ,  H01F10/007 ,  H01F41/301

Abstract: 本发明涉及一种用于在基板(44)上形成磁性结构的方法和装置，还涉及一种通过这样的方法和装置形成的磁性结构。磁性结构包括嵌入有磁性粒子的基体。用于在基板(44)上形成磁性结构的装置(30)包括基体材料源(32)，基体材料源(32)用于将基体材料沉积到基板上以借此形成基体。用于形成磁性结构的装置(30)进一步包括磁性粒子源(34)，磁性粒子源(34)用于在基体形成期间将磁性粒子沉积到基体上以借此将磁性粒子嵌入到基体中。每个磁性粒子包括至少部分覆盖有金属层的核心，基体材料和核心中的至少一个为铁磁性材料，并且核心和金属层为不同材料。