公开(公告)号：CN106158707A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610324358.9

申请日：2016-05-16

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金鹏 ,  韩旻成 ,  林舟楫 ,  金禹永

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F26B21/145 ,  F26B3/04 ,  F26B9/06 ,  F26B21/10 ,  F26B21/12 ,  F26B21/14 ,  H01L21/02101 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67253

Abstract: 根据本发明的基板干燥装置包含：腔室，其提供处理基板的空间；以及流体供给单元，其向所述腔室供给工艺流体，所述流体供给单元，包含：供给罐，其用于储存所述流体；供给线，其连接所述供给罐和所述腔室；分支线，其在所述供给线的第一支点分支，在所述供给线的第二支点连接；以及温度调节单元，其在所述第一支点和所述第二支点之间，以使得在所述供给线和所述分支线流动的流体的温度不同的方式调节所述流体的温度。

公开(公告)号：CN106158707B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201610324358.9

申请日：2016-05-16

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金鹏 ,  韩旻成 ,  林舟楫 ,  金禹永

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F26B21/145 ,  F26B3/04 ,  F26B9/06 ,  F26B21/10 ,  F26B21/12 ,  F26B21/14 ,  H01L21/02101 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67253

Abstract: 根据本发明的基板干燥装置包含：腔室，其提供处理基板的空间；以及流体供给单元，其向所述腔室供给工艺流体，所述流体供给单元，包含：供给罐，其用于储存所述流体；供给线，其连接所述供给罐和所述腔室；分支线，其在所述供给线的第一支点分支，在所述供给线的第二支点连接；以及温度调节单元，其在所述第一支点和所述第二支点之间，以使得在所述供给线和所述分支线流动的流体的温度不同的方式调节所述流体的温度。