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公开(公告)号:CN117043922A
公开(公告)日:2023-11-10
申请号:CN202280022838.3
申请日:2022-02-22
Applicant: 罗姆股份有限公司
Inventor: 高尾俊郎 , 长尾胜久 , 榎田吉朗
IPC: H01L21/66
Abstract: 检查用半导体构造包括:半导体板,其具有一侧的第一主面以及另一侧的第二主面;检查区域,其设置于所述第一主面;主面电极,其具有第一硬度,在所述检查区域覆盖所述第一主面;以及保护电极,其具有超过所述第一硬度的第二硬度,在所述检查区域覆盖所述主面电极,在与所述第二主面之间形成经由所述半导体板的电流路径。