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公开(公告)号：CN102691066A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210204824.1
申请日：2012-06-20
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种锂电池电极片的毛边处理方法及装置，该方法包括：S1、提供等离子体刻蚀装置；S2、将锂电池电极片竖直放置在所述等离子体刻蚀装置腔室内的第二电极上；S3、将所述腔室抽至本底真空，并向腔室内通入反应气体使腔室达到预定气压；S4、开启并调节所述第一射频源和第二射频源，所述腔室内反应气体被激发形成等离子体，所述等离子体对锂电池电极片的剖面进行轰击以进行刻蚀。本发明采用等离子体干法刻蚀的方法对锂电池电极片剖面进行刻蚀处理，处理过程中等离子体中的高能离子将轰击锂电池电极片的剖面并产生刻蚀效果，以除去电极片边缘的金属毛刺和金属粉尘，由此消除锂电池电极片边缘毛刺造成内部短路的隐患。
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公开(公告)号：CN102842498A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210344047.0
申请日：2012-09-17
Applicant: 苏州大学
IPC: H01L21/3065 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池制绒表面的抛光方法和抛光装置，其基于大功率射频激发的行波耦合等离子体技术，不依赖于晶体硅片的表面状态，工艺操作十分方便、易于控制，具有更好的可靠性和重复性；不存在液态制绒对硅片的机械冲击损伤，提高了太阳能电池片的机械强度，大大降低了破损率；而且排放物很容易通过洗气装置实现符合环保要求的排放，可以满足大面积等离子体均匀处理的要求。该方法能够完全抛光初期制绒导致的绒面结构，表面结构分布均匀、光滑，这为下一步的多晶硅表面背电极钝化技术乃至提高光电转换效率奠定了必要的基础。
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公开(公告)号：CN102842498B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201210344047.0
申请日：2012-09-17
Applicant: 苏州大学
IPC: H01L21/3065 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池制绒表面的抛光方法和抛光装置，其基于大功率射频激发的行波耦合等离子体技术，不依赖于晶体硅片的表面状态，工艺操作十分方便、易于控制，具有更好的可靠性和重复性；不存在液态制绒对硅片的机械冲击损伤，提高了太阳能电池片的机械强度，大大降低了破损率；而且排放物很容易通过洗气装置实现符合环保要求的排放，可以满足大面积等离子体均匀处理的要求。该方法能够完全抛光初期制绒导致的绒面结构，表面结构分布均匀、光滑，这为下一步的多晶硅表面背电极钝化技术乃至提高光电转换效率奠定了必要的基础。
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