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公开(公告)号：CN105240656A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510530696.3
申请日：2015-08-26
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院
Inventor： 钟博文
Abstract: 本发明涉及一种一维大行程精密定位平台，包括壳体、设置在壳体一侧的交叉滚珠导轨及设置在壳体内的压电陶瓷和弹性件，交叉滚珠导轨包括动子导轨和相对设置在动子导轨两侧的定子导轨，定子导轨与动子导轨平行设置，定子导轨固定在壳体上，壳体内设置有收纳压电陶瓷和弹性件的收纳腔，收纳腔内还设置有第一固定件和第二固定件，第一固定件和第二固定件可沿动子导轨的纵长方向在收纳腔内移动，于动子导轨的纵长方向，压电陶瓷的一端抵持第一固定件，另一端抵持第二固定件，动子导轨固定在第二固定件上，弹性件固定在第一固定件上，于动子导轨的宽度方向，弹性件的两侧抵压收纳腔的内侧面，第一固定件和第二固定件之间通过柔性件连接。
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公开(公告)号：CN105225910A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510621517.7
申请日：2015-09-25
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的微操作系统，应用于扫描电子显微镜设备，该基于扫描电子显微镜的微操作系统包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，该基于扫描电子显微镜的微操作系统通过在基座上设置若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台，且将若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，从而实现对样件进行多轴联动，解决了现有技术中只能单一的对样件进行观察的问题。
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公开(公告)号：CN205069577U
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201520753105.4
申请日：2015-09-25
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院
IPC: H01J37/20
Abstract: 本实用新型涉及一种新型微操作平台，应用于扫描电子显微镜设备，该新型微操作平台包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，三轴直线运动平台和五轴宏动平台均通过压电马达驱动，基座上贯通设置有用以容纳样品操作台的腔体，五轴宏动平台位于基座的下方。
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公开(公告)号：CN205029575U
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201520647224.1
申请日：2015-08-26
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院
Inventor： 钟博文
IPC: H02N2/04
Abstract: 本实用新型涉及一种惯性粘滑平台，包括壳体、设置在壳体内的柔性架及设置在柔性架内的压电陶瓷和弹性件，壳体包括上端壁，收纳腔的一侧设置有贯穿上端壁的槽道，柔性架包括第一固定件和第二固定件，第一固定件包括第一架体、形成在第一架体内的第一中空腔及自第一架体朝第二固定件突伸的抵持部，弹性件容置在第一中空腔内，弹性件的两侧抵压收纳腔的内侧面，第二固定件包括第二架体和形成在第二架体内的第二中空腔，抵持部自第二架体的开口伸入至第二中空腔，抵持部向外突伸形成有连接至第二架体的柔性臂，压电陶瓷位于第二中空腔内，压电陶瓷的一端抵持部，另一端抵持第二架体的后壁，第二架体伸入至槽道。
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