一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层及其制备方法

    公开(公告)号:CN110323292A

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201910372254.9

    申请日:2019-05-06

    Abstract: 本发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层,包括m组相层叠的基础吸收层,每组基础吸收层均包含由下至上层叠的铜铟镓膜层与硒膜层,2≤m≤5;在制备时按以下步骤:S1、采用磁控溅射工艺,在薄膜太阳能电池背电极上沉积铜铟镓膜层;S2、采用真空蒸镀或者磁控溅射工艺在铜铟镓膜层上沉积硒膜层,得到由铜铟镓膜层与硒膜层构成的基础吸收层;S3、重复步骤S1与S2的沉积过程,层叠m组基础吸收层,得到铜铟镓硒前驱体,2≤m≤5;S4、将铜铟镓硒前驱体置于真空硒化炉中进行RTP退火,得到铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层;该吸收层解决了现有产品中存在的Ga偏析的问题,提高薄膜太阳能电池的开路电压及光电转换效率,且制备方法简单。

    一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜

    公开(公告)号:CN109308952A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201811441773.8

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明公开一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜,包括柔性基底,柔性基底顶面依次层叠有预制导电层、第一透明导电膜层、高透减反层、超导层以及第二透明导电膜层;预制导电层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜;第一透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜;高透减反层为单分散SiO2小球薄膜;超导层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜;第二透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜;该薄膜具有附着力强、成本低、透过率高、电阻低且性能稳定的特点。

    一种超耐磨高透过率氧化锆薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN108149195A

    公开(公告)日:2018-06-12

    申请号:CN201711415344.9

    申请日:2017-12-25

    CPC classification number: C23C14/083 C23C14/0036 C23C14/35

    Abstract: 本发明公开一种超耐磨高透过率氧化锆薄膜的制备方法,包括以下步骤:S1、清洗衬底,去除衬底表面污渍并吹干;S2、将清洗后的衬底置入磁控溅射镀膜设备,当溅射腔体真空度符合要求时,对溅射腔体进行烘烤,排出溅射腔体内的杂质分子;S3、烘烤结束后,以锆为靶材,采用射频电源,氩气与氧气为溅射气体,通过磁控溅射在衬底沉积氧化锆薄膜;在过氧的情况下,采用大功率射频溅射,保证锆原子在沉积过程中能与反应气体充分反应得到氧化锆;大功率溅射可以保证锆原子初始能量较高,沉积在衬底时可以使氧化锆薄膜更致密,耐磨性好,且可以保证膜基结合力更好;工艺过程可以精确控制,保证氧化锆薄膜的厚度可控,满足透过率要求。

    一种漫反射彩色玻璃的制备方法

    公开(公告)号:CN114394760A

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202111609910.6

    申请日:2021-12-27

    Abstract: 本发明公开一种漫反射彩色玻璃的制备方法,包括:S1、清洗浮法玻璃;S2、对浮法玻璃进行单面封装,做阻止酸蚀保护处理;S3、将封装后的浮法玻璃浸入酸蚀液中酸蚀处理,酸蚀液由以下重量百分比的原料组成:15‑18%氢氟酸,15‑18%硫酸,11‑13%氟化氢铵,13‑15%氯化钾,5‑6%硫酸铵,3‑4%乙酸锌,3‑4%硝酸铝,3‑4%氯化钠以及25‑30%水;S4、将酸蚀后的浮法玻璃取出清洗,去除封装面;S5、对酸蚀玻璃非腐蚀面进行镀膜,采用磁控溅射法,ZrO2靶材,射频功率190‑210W,压力1.0‑1.4pa,Ar流量18‑22sccm进行镀膜。该方法能够制备得到高雾度漫反射彩色玻璃。

    一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜

    公开(公告)号:CN109308952B

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN201811441773.8

    申请日:2018-11-29

    Abstract: 本发明公开一种高透低阻可弯曲透明导电薄膜,包括柔性基底,柔性基底顶面依次层叠有预制导电层、第一透明导电膜层、高透减反层、超导层以及第二透明导电膜层;预制导电层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜;第一透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜;高透减反层为单分散SiO2小球薄膜;超导层为铝膜、银膜、金膜、铜膜或钛膜;第二透明导电膜层为铝掺杂氧化锌薄膜、加镓掺杂氧化锌薄膜、铟镓掺杂氧化锌薄膜或硼掺杂氧化锌薄膜;该薄膜具有附着力强、成本低、透过率高、电阻低且性能稳定的特点。

    一种离子束辅助沉积工艺制备W掺杂ZrO2薄膜的方法

    公开(公告)号:CN110983280A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911353350.5

    申请日:2019-12-25

    Abstract: 本发明公开一种离子束辅助沉积工艺制备W掺杂ZrO2薄膜的方法,包括以下步骤:a、采用单晶硅片为衬底,清洗衬底,去除衬底表面的污垢;b、将衬底放入离子束辅助沉积系统的腔室内,离子束辅助沉积系统采用钨靶与锆靶;c、启动离子束辅助沉积系统,先使用钨靶,在衬底表面沉积氧化钨薄膜;然后使用锆靶,在氧化钨薄膜表面沉积氧化锆薄膜;d、将沉积了薄膜的衬底放入退火炉,在1000℃的氧气气氛中退火3小时,使氧化钨在氧化锆薄膜中均匀扩散;然后随炉冷却至常温即得到W掺杂ZrO2薄膜;该方法能够进行任意W掺杂量的ZrO2薄膜的制备,并且不需要另外制作混合靶材,方法简单、可控性强。

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