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公开(公告)号：CN114019673A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111226876.4
申请日：2021-10-21
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明公开一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺，属于智能光电芯片和半导体领域，主要涉及微机电系统、微纳光学、电磁驱动等技术。芯片主要结构包括可动镜体1、固定镜体2、可动反射镜3、固定反射镜4,支撑薄膜5、键合层6、永磁体7、间隔层8、PCB驱动/控制电路9和封装外壳10。本发明提出的电磁驱动珐珀滤波芯片可实现双向宽幅线性调制，增大珐珀滤波芯片调谐范围，克服其他驱动式的珐珀滤波芯片调制范围有限、非线性驱动和响应速度慢等缺点。所采用的MEMS圆片级体加工技术可实现大孔径珐珀滤波芯片的低成本、高保真和高效率加工。本发明所提出的电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级加工技术将促进相关实际应用系统的发展与推广。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115793517B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202211388605.3
申请日：2022-11-08
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
IPC: G05B19/042 , B81B7/00
Abstract: 本发明涉及一种电磁驱动式珐珀滤波芯片的驱动控制电路，包括印刷电路板、开设在印刷电路板中心的通光孔、微处理器以及与微处理器连接的励磁电路，所述励磁电路包括与微处理器连接的电流驱动芯片以及与电流驱动芯片连接且与通光孔同轴设置的空心电磁线圈，微处理器用于分别输出双路不同占空比大小和方向的PWM信号，电流驱动芯片接收所述PWM信号并输出相应的大小不同且方向相反的电流，空心电磁线圈用于接收电流并进行励磁，从而驱动珐珀滤波芯片的可动镜上下移动来使珐珀滤波芯片的腔体的长度发生改变；该结构能够实现对电磁驱动式珐珀滤波芯片的双向宽幅线性调谐，并提高电磁驱动式珐珀滤波芯片的光谱调制精细度、响应速度以及响应频率。
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公开(公告)号：CN118550077A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410574268.X
申请日：2024-05-10
Applicant: 西北工业大学宁波研究院 , 西北工业大学
Abstract: 本发明提供了一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其制作方法，包括：固定镜体，固定镜体的底端设有键合层；第一反射镜，设于固定镜体底端并位于键合层的第一通孔内；可动镜体，可动镜体的顶端连接键合层；第二反射镜，设于可动镜体顶端并位于键合层之间，第二反射镜与第一反射镜正相对；间隔层，设于可动镜体底端；环形永磁体，设于可动镜体的底端并位于间隔层的第二通孔内；单片式驱动线圈，单片式驱动线圈的顶端连接间隔层背向可动镜体的一端；可动镜体的底端开设有匹配环形永磁体的永磁体槽；可动镜体的环形通孔内设有悬臂梁。有益效果是本发明通过将光学结构和单片式驱动线圈进行单片集成封装，减少电磁驱动珐珀滤波芯片体积，提高封装精度。
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公开(公告)号：CN115793517A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211388605.3
申请日：2022-11-08
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
IPC: G05B19/042 , B81B7/00
Abstract: 本发明涉及一种电磁驱动式珐珀滤波芯片的驱动控制电路，包括印刷电路板、开设在印刷电路板中心的通光孔、微处理器以及与微处理器连接的励磁电路，所述励磁电路包括与微处理器连接的电流驱动芯片以及与电流驱动芯片连接且与通光孔同轴设置的空心电磁线圈，微处理器用于分别输出双路不同占空比大小和方向的PWM信号，电流驱动芯片接收所述PWM信号并输出相应的大小不同且方向相反的电流，空心电磁线圈用于接收电流并进行励磁，从而驱动珐珀滤波芯片的可动镜上下移动来使珐珀滤波芯片的腔体的长度发生改变；该结构能够实现对电磁驱动式珐珀滤波芯片的双向宽幅线性调谐，并提高电磁驱动式珐珀滤波芯片的光谱调制精细度、响应速度以及响应频率。
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公开(公告)号：CN116661127A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310417381.2
申请日：2023-04-19
Applicant: 西北工业大学宁波研究院 , 西北工业大学
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明提供了一种电磁静电双驱动式珐珀滤波芯片及其制备方法，涉及光电芯片和半导体技术领域，包括可动镜体、固定镜体、永磁体、PCB电路板和间隔层，所述可动镜体的端面上设置有第一反射镜、第一检测电极、第二检测电极、第一驱动电极和第二驱动电极，且所述第一检测电极和所述第一驱动电极位于所述第一反射镜的一侧，所述第二检测电极和所述第二驱动电极位于所述第一反射镜的另一侧，所述可动镜体的另一端面上设置有用于嵌入所述永磁体的永磁体槽。本发明能够克服单驱动方式的珐珀滤波芯片非线性调制、调谐范围有限和滤波单色性差的问题。
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公开(公告)号：CN114019673B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111226876.4
申请日：2021-10-21
Applicant: 西北工业大学宁波研究院
Abstract: 本发明公开一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级制作工艺，属于智能光电芯片和半导体领域，主要涉及微机电系统、微纳光学、电磁驱动等技术。芯片主要结构包括可动镜体1、固定镜体2、可动反射镜3、固定反射镜4、支撑薄膜5、键合层6、永磁体7、间隔层8、PCB驱动/控制电路9和封装外壳10。本发明提出的电磁驱动珐珀滤波芯片可实现双向宽幅线性调制，增大珐珀滤波芯片调谐范围，克服其他驱动式的珐珀滤波芯片调制范围有限、非线性驱动和响应速度慢等缺点。所采用的MEMS圆片级体加工技术可实现大孔径珐珀滤波芯片的低成本、高保真和高效率加工。本发明所提出的电磁驱动珐珀滤波芯片及其圆片级加工技术将促进相关实际应用系统的发展与推广。
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