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公开(公告)号：CN119470624A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411653134.3
申请日：2024-11-19
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种集成式有源石英晶体微天平(QCM)湿度传感器及其制备方法，其特征在于：包括压电晶片(1)、金属电极层(2)、湿度敏感层(3)、振荡电路晶圆(4)、引线(51、52)、基座(6)和引脚焊盘(7)；所述金属电极层(2)包括第一金属电极层(底部电极)(21)和第二金属电极层(顶部电极)(22)，第二金属电极层(22)表面设有湿度敏感层(3)。本发明公开的一种小尺寸高基频的集成式有源QCM湿度传感器，将湿敏材料成膜于第二金属电极层上，从而得到附着有湿敏膜的QCM湿度传感器。本发明的传感器内含振荡电路，可产生稳定的高质量振荡信号。本发明的集成式有源QCM湿度传感器制备方法简单、成本低廉、尺寸小、可贴装，具有灵敏度高、线性度好、响应速度快等特点。
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