公开(公告)号：CN115597571A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211611052.3

申请日：2022-12-15

Applicant: 西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)(CN)

Inventor： 文泓琛 ,  彭根斋 ,  唐宝权 ,  张芦 ,  张志红 ,  白雪 ,  袁荟烽

IPC: G01C17/38 ,  G01C17/32

Abstract: 本发明公开了一种电子罗盘传感器误差及安装误差快速标定与补偿方法，涉及电子罗盘的误差补偿领域，其方法为：先选择一电子罗盘，得到MEMS三轴加速度计在每个位置处x、y、z轴上的理论值和初始测量值、和x、y轴上多个样本点的初始磁场强度，送入卡尔曼滤波器；再求解MEMS三轴加速度计的误差补偿参数矩阵、以及磁场数据的椭圆拟合参数，分别对MEMS三轴加速度计和磁传感器数据进行补偿，本发明不仅能减小数据输出噪声，还能有效地补偿MEMS加速度计自身零偏、刻度因子、非正交及安装误差，并且对外界的磁场干扰进行补偿。精度较高，操作简单，易于实现，具有重要的工程实用价值。

公开(公告)号：CN115356667B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211298871.7

申请日：2022-10-24

Applicant: 西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)(CN)

Inventor： 唐宝权 ,  彭根斋 ,  闫欢 ,  张芦 ,  张志红 ,  赵勇 ,  白雪 ,  袁荟烽

IPC: G01R33/07 ,  G01R33/00

Abstract: 本发明公开了一种基于单霍尔探头的宽量程强磁场测量系统及测量方法，包括磁感知探头、信号调理和模拟转换子单元、控制与校准子单元和探头激励子单元，磁感知探头输入端和输出端分别连接探头激励子单元和信号调理和模拟转换子单元，控制与校准子单元与信号调理和模拟转换子单元、和探头激励子单元双向通信。本发明仅采用单根磁感知探头，采用两种信号调理电路搭配2片ADC协同完成磁信号采集，在保证磁场采集精度的前提下能实现自动量程检测，最终实现了20T宽量程范围的多段磁场高精度磁场检测功能。相较于传统多探头分量程范围实现宽量程范围磁场信号采集，本发明具有操控简单方便、实用性强、校准效率高等特点。

公开(公告)号：CN114447552B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202210123712.7

申请日：2022-02-10

Applicant: 西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)(CN)

Inventor： 李晓宇 ,  高春燕 ,  田珺宏 ,  胡艺缤 ,  张志红

IPC: H01P1/38 ,  H01P11/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的新型微带环行器及其加工方法，其结构包括从上到下依次设置的永磁体、介质基板、铁底板，所述介质基板包括硅晶圆、硅晶圆上表面依次设有聚酰亚胺薄膜、上Cr/Au双层膜、上镀Au层，上Cr/Au双层膜上蚀刻有上表面电路，上镀Au层通过陶瓷基片与永磁体粘接；硅晶圆下表面设有下Cr/Au双层膜，其上蚀刻有下表面电路，硅晶圆中部还蚀刻有一铁氧体槽，下表面电路下方还设有一下镀Au层。本发明提出了一种新结构及加工方法，无需两片硅晶圆，无需进行晶圆级金属键合，能有效降此类环行器的工艺步骤、复杂度和成本，减小工艺冗余度，且能减小器件的尺寸，满足小型化的发展需求。