基于银纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法

    公开(公告)号:CN103193194A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310069978.9

    申请日:2013-03-05

    Abstract: 基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法,先制造平面平行微电极,再制造具有光刻胶导向结构的微电极系统,再进行银纳米粒子介电泳组装,最后进行有序的纳米微结构形成,本发明通过对银纳米粒子悬浮液施加高频交流电,使其在具有光刻胶导向作用下的微电极系统中,进行正介电泳力的组装,形成有序银纳米微结构的方法,可以有效的实现低成本,又简单易行地实现按照人的意志来调控图案多样、有序度高、稳定性好的自组装纳米微结构,可以广泛的应用于光电子器件、光伏器件等。

    基于纳米粒子自组装网状线结构的氢气传感器制造方法

    公开(公告)号:CN103512923A

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201310438578.0

    申请日:2013-09-24

    Abstract: 基于纳米粒子自组装网状线结构的氢气传感器制造方法,通过对氧化锡纳米粒子胶体悬浮液所覆盖的平面微米电极对间施加高振荡频率的正弦电势信号,利用介电泳机理将氧化锡纳米粒子组装为一维纳米粒子线结构,并在制造微电极结构的同时在其绝缘间隙内引入多个具有特定几何配置的导电岛单元结构,从而通过局域电场增强效应实现氧化锡纳米粒子线生长方向的调控,最终在液相中形成氧化锡纳米粒子线的网状拓扑结构,将微电极对和所有导电岛相互连接起来,由于氧化锡纳米粒子与基底间的紧密的分子间力作用,该粒子线网状拓扑结构在溶液蒸发后仍然能够保留,可以高效的实现低成本、稳定性好、灵敏度高的氢气传感器的制造。

    基于银纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法

    公开(公告)号:CN103193194B

    公开(公告)日:2015-10-21

    申请号:CN201310069978.9

    申请日:2013-03-05

    Abstract: 基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法,先制造平面平行微电极,再制造具有光刻胶导向结构的微电极系统,再进行银纳米粒子介电泳组装,最后进行有序的纳米微结构形成,本发明通过对银纳米粒子悬浮液施加高频交流电,使其在具有光刻胶导向作用下的微电极系统中,进行正介电泳力的组装,形成有序银纳米微结构的方法,可以有效的实现低成本,又简单易行地实现按照人的意志来调控图案多样、有序度高、稳定性好的自组装纳米微结构,可以广泛的应用于光电子器件、光伏器件等。

    基于纳米粒子自组装网状线结构的氢气传感器制造方法

    公开(公告)号:CN103512923B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201310438578.0

    申请日:2013-09-24

    Abstract: 基于纳米粒子自组装网状线结构的氢气传感器制造方法,通过对氧化锡纳米粒子胶体悬浮液所覆盖的平面微米电极对间施加高振荡频率的正弦电势信号,利用介电泳机理将氧化锡纳米粒子组装为一维纳米粒子线结构,并在制造微电极结构的同时在其绝缘间隙内引入多个具有特定几何配置的导电岛单元结构,从而通过局域电场增强效应实现氧化锡纳米粒子线生长方向的调控,最终在液相中形成氧化锡纳米粒子线的网状拓扑结构,将微电极对和所有导电岛相互连接起来,由于氧化锡纳米粒子与基底间的紧密的分子间力作用,该粒子线网状拓扑结构在溶液蒸发后仍然能够保留,可以高效的实现低成本、稳定性好、灵敏度高的氢气传感器的制造。

    一种基于定向介电泳组装结构的紫外光强传感器制造方法

    公开(公告)号:CN103278238A

    公开(公告)日:2013-09-04

    申请号:CN201310176592.8

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 一种基于定向介电泳组装结构的紫外光强传感器制造方法,先利用湿法腐蚀技术在 底面的硅基底上制造出沿 晶向排列的V型槽阵列结构,再在该V型槽结构之上利用剥离工艺制造出与槽定向相一致的三维金微电极对结构,接着通过对由氧化锌纳米粒子悬浮液所覆盖的三维微电极对之间施加高频交流电场,使氧化锌纳米粒子在基底V型槽底部所诱导的局域场增强效应的导向作用下,进行介电泳自组装,最终形成沿V型槽基底高度定向排列的氧化锌纳米粒子线结构,这种介电泳组装出的氧化锌纳米粒子线结构拥有优良的多孔性以及高度的定向排列特点,使得载流子能够快速的沿纳米粒子线方向迁移,可以用于具有高灵敏度与快响应速度的紫外光强传感器的开发与制造。

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