-
公开(公告)号:CN113089032A
公开(公告)日:2021-07-09
申请号:CN202110322291.6
申请日:2021-03-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种微米级多孔铜箔及其制备方法与应用,对钛片进行预处理,然后将光刻胶均匀涂布在钛片上,将具有多孔矩阵形状的掩模版放置在钛片上进行光刻处理;然后对钛片进行显影处理;将显影处理后的钛片作为电镀阴极基底放入电镀液中进行电镀;再将铜箔从钛片上剥下;制得微米级多孔铜箔。本发明方法光刻的设备、电解的设备、条件简单,原材料易取,操作工艺简单,时间短,钛基底作为模板可重复使用,适宜大规模生产。