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公开(公告)号：CN113333966A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110520515.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明提出一种基于飞秒激光光丝效应的薄石英玻璃切割方法，该方法适用于厚度≤200μm的薄石英玻璃切割；采用高重频飞秒激光器结合高速高精度扫描振镜作为加工平台，通过改变激光参数来调控飞秒光丝长度、光丝能量分布、脉冲重叠率、脉冲能量沉积及光丝在石英玻璃内部的相对位置，进而实现石英玻璃高质高效切割；本发明能够对厚度≤200μm石英玻璃材料实现单次扫描直接切割，无需后处理过程，切割断面粗糙度小于1.5μm，切割边缘崩边小于12.5μm，加工速度达到10mm/s；该方法操作简单，光路调试方便，实现了薄石英玻璃切割加工效率和加工质量的同步提升。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115945366A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211634702.6
申请日：2022-12-19
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种基于飞秒激光和石蜡蒸发沉积处理制备超疏水表面的方法，先搭建飞秒激光扫描加工系统，然后通过计算机集成控制系统调控激光器输出激光参数及扫描振镜扫描参数，待加工基底固定于三维移动平台上，调整振镜位置至光束会聚焦点在基底待加工表面，通过二维扫描振镜控制软件，依次按照所规划不同扫描路径扫描不同次数，以获得“分级复合”阵列结构；在基底获得预期微纳结构基础上，搭建石蜡蒸镀处理实验装置，将石蜡加热至一定温度，使石蜡气化，再吸附、沉积在基底加工后表面，实现了低表面能修饰，并最终实现了超疏水表面的制备；本发明实现了低成本、高效率的超疏水表面低表面能修饰，能够高质量制备稳定且可控性较好的超疏水表面。
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公开(公告)号：CN113333966B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110520515.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本发明提出一种基于飞秒激光光丝效应的薄石英玻璃切割方法，该方法适用于厚度≤200μm的薄石英玻璃切割；采用高重频飞秒激光器结合高速高精度扫描振镜作为加工平台，通过改变激光参数来调控飞秒光丝长度、光丝能量分布、脉冲重叠率、脉冲能量沉积及光丝在石英玻璃内部的相对位置，进而实现石英玻璃高质高效切割；本发明能够对厚度≤200μm石英玻璃材料实现单次扫描直接切割，无需后处理过程，切割断面粗糙度小于1.5μm，切割边缘崩边小于12.5μm，加工速度达到10mm/s；该方法操作简单，光路调试方便，实现了薄石英玻璃切割加工效率和加工质量的同步提升。
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公开(公告)号：CN113333965B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202110520508.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法，通过对皮秒高斯激光进行空间整形获得贝塞尔光束，通过高重频皮秒激光器内置的同步输出功能调整脉冲打孔间距、高重频皮秒激光器的脉冲串模式调节子脉冲个数，三维工作台调整贝塞尔光束在石英玻璃片样品内部的聚焦位置，皮秒激光贝塞尔光束在石英玻璃片样品表面切割路径形成微孔阵列，然后通过施加外应力实现石英玻璃片样品高质高效隐形切割；本发明能够对500μm厚石英玻璃材料实现单次扫描高质量隐形切割，切割断面粗糙度小于0.8μm，几乎无崩边；操作简单，实现了石英玻璃因隐形切割加工效率和加工质量的同步提升。
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公开(公告)号：CN117051913A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310625334.7
申请日：2023-05-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: E03B3/28 , B05D5/08 , B05D3/10 , B05D3/02 , B23K26/352 , B23K26/064
Abstract: 一种仿沙漠甲虫鞘翅结构的智能超疏水雾水收集表面制备方法，先进行实验预处理，然后进行拓补排列的再入凹角孔阵列微纳结构的制备，最后进行雾水收集结构表面的构建，将激光制备的拓补排列的再入凹角孔阵列微纳结构浸泡于硅烷溶液，使得含氟的低表面能官能团与微纳结构表面键合；为了获得更加牢固的键合力，需要将氟化后的样品放置在恒温干燥箱中加热一段时间，从而使得结构表面达到疏水性；本发明所得结构综合了亲水、疏水、以及亲疏水相间三种典型雾水收集表面的优势，对于扩展雾水润湿性表面的制备方法和应用领域有着显著的优势。
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公开(公告)号：CN113333965A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110520508.4
申请日：2021-05-13
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/0622 , B23K26/70
Abstract: 一种基于贝塞尔光束的石英玻璃隐形切割方法，通过对皮秒高斯激光进行空间整形获得贝塞尔光束，通过高重频皮秒激光器内置的同步输出功能调整脉冲打孔间距、高重频皮秒激光器的脉冲串模式调节子脉冲个数，三维工作台调整贝塞尔光束在石英玻璃片样品内部的聚焦位置，皮秒激光贝塞尔光束在石英玻璃片样品表面切割路径形成微孔阵列，然后通过施加外应力实现石英玻璃片样品高质高效隐形切割；本发明能够对500μm厚石英玻璃材料实现单次扫描高质量隐形切割，切割断面粗糙度小于0.8μm，几乎无崩边；操作简单，实现了石英玻璃因隐形切割加工效率和加工质量的同步提升。
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