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公开(公告)号：CN103091370A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310007582.1
申请日：2013-01-09
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种用于气敏传感器制造的纳米线原位成形方法，先进行传感器图形化结构制造，在刚性基材表面均匀制备一层聚合物材料，在聚合物表面制备出具有应力豁口的金属薄膜电极，在此结构上制备出引线电极，然后进行一维纳米间隙结构制造，采用掩模板通过低能电子束对聚合物材料进行曝光，金属薄膜电极将在应力集中的豁口位置形成缝隙结构，然后将制成的缝隙结构置于气体敏感材料纳米粒子的悬浮液中，在金属薄膜电极两侧施加交变电场，纳米粒子形成纳米线，最后完成纳米线两端连接对电极的传感器制造；本发明解决了纳米线气敏传感器中纳米线的组装和安放的问题，达到传感器制造的批量化、低成本和一致性等制造技术属性要求。
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公开(公告)号：CN102328903A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110293495.8
申请日：2011-09-29
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种大面积纳米缝电极并行制造方法，在刚性基材和具有应力集中豁口的电极材料之间引入一层有机聚合物材料，形成“刚性基材-有机聚合物材料-电极材料”的三明治结构，对刚性基材均匀加热，有机聚合物材料受热体积膨胀，从而使其表面的电极材料内部产生拉应力，当拉应力达到电极材料的断裂极限时，电极材料断裂，形成纳米级裂缝结构，本发明解决了传统金属薄膜断裂所需的应变来源问题，裂缝位置精确可控，控制加热温度和时间可以改变纳米缝宽度大小；同时，面板受热均匀，保证了阵列化纳米裂缝电极大面积并行制造的可行性和均匀性。
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公开(公告)号：CN102313761B
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201110193151.X
申请日：2011-07-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 一种用于氢气检测的阵列化气敏传感器结构，在刚性基材表面依次制备柔性材料、过渡层、Pd材料纳米缝电极，Pd材料纳米缝电极具有阵列化排列的特性，Pd材料纳米缝电极至少包含两种以上不同的平面电极间隙，平面电极间隙的宽度值符合等差数列，且间隙差值等于Pd材料纳米缝电极的最小宽度，间隙宽度相同的Pd材料纳米缝电极并联起来，构成一组氢气检测回路，利用间隙宽度最小的Pd材料平面电极构成氢气检测回路提高传感器的灵敏度，利用利用间隙宽度最大的Pd材料平面电极构成氢气检测回路提高传感器的测量范围，解决传统氢传感器无法同时兼顾灵敏度和测量范围的难题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102262991A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201110191515.0
申请日：2011-07-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种SED显示器电子发射源纳米缝阵列的制备方法，在透明基材和具有应力集中豁口的电子发射材料薄膜之间引入一层激光光致膨胀聚合物材料，形成“透明基材-激光光致膨胀聚合物材料-电子发射材料”的三明治结构，采用激光在透明基材无电子发射源图形结构一侧照射引线电极的缝隙内的激光光致膨胀聚合物材料，使之产生体积膨胀，从而使其表面的电子发射薄膜材料内部产生拉应力，当拉应力达到薄膜材料的断裂极限时，电子发射薄膜材料断裂，形成纳米级裂纹结构，本发明引入激光光致膨胀材料解决了电子发射薄膜断裂所需的应变来源问题，裂缝位置精确可控；同时采用原位控制隧道电流的方法进行阵镜扫描，保证了阵列化纳米裂缝电子发射特性的均匀性。
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公开(公告)号：CN102262991B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201110191515.0
申请日：2011-07-11
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种SED显示器电子发射源纳米缝阵列的制备方法，在透明基材和具有应力集中豁口的电子发射材料薄膜之间引入一层激光光致膨胀聚合物材料，形成“透明基材-激光光致膨胀聚合物材料-电子发射材料”的三明治结构，采用激光在透明基材无电子发射源图形结构一侧照射引线电极的缝隙内的激光光致膨胀聚合物材料，使之产生体积膨胀，从而使其表面的电子发射薄膜材料内部产生拉应力，当拉应力达到薄膜材料的断裂极限时，电子发射薄膜材料断裂，形成纳米级裂纹结构，本发明引入激光光致膨胀材料解决了电子发射薄膜断裂所需的应变来源问题，裂缝位置精确可控；同时采用原位控制隧道电流的方法进行阵镜扫描，保证了阵列化纳米裂缝电子发射特性的均匀性。
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公开(公告)号：CN102313761A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110193151.X
申请日：2011-07-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 一种用于氢气检测的阵列化气敏传感器结构，在刚性基材表面依次制备柔性材料、过渡层、Pd材料纳米缝电极，Pd材料纳米缝电极具有阵列化排列的特性，Pd材料纳米缝电极至少包含两种以上不同的平面电极间隙，平面电极间隙的宽度值符合等差数列，且间隙差值等于Pd材料纳米缝电极的最小宽度，间隙宽度相同的Pd材料纳米缝电极并联起来，构成一组氢气检测回路，利用间隙宽度最小的Pd材料平面电极构成氢气检测回路提高传感器的灵敏度，利用利用间隙宽度最大的Pd材料平面电极构成氢气检测回路提高传感器的测量范围，解决传统氢传感器无法同时兼顾灵敏度和测量范围的难题。
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公开(公告)号：CN103091370B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201310007582.1
申请日：2013-01-09
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种用于气敏传感器制造的纳米线原位成形方法，先进行传感器图形化结构制造，在刚性基材表面均匀制备一层聚合物材料，在聚合物表面制备出具有应力豁口的金属薄膜电极，在此结构上制备出引线电极，然后进行一维纳米间隙结构制造，采用掩模板通过低能电子束对聚合物材料进行曝光，金属薄膜电极将在应力集中的豁口位置形成缝隙结构，然后将制成的缝隙结构置于气体敏感材料纳米粒子的悬浮液中，在金属薄膜电极两侧施加交变电场，纳米粒子形成纳米线，最后完成纳米线两端连接对电极的传感器制造；本发明解决了纳米线气敏传感器中纳米线的组装和安放的问题，达到传感器制造的批量化、低成本和一致性等制造技术属性要求。
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公开(公告)号：CN102328903B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201110293495.8
申请日：2011-09-29
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种大面积纳米缝电极并行制造方法，在刚性基材和具有应力集中豁口的电极材料之间引入一层有机聚合物材料，形成“刚性基材-有机聚合物材料-电极材料”的三明治结构，对刚性基材均匀加热，有机聚合物材料受热体积膨胀，从而使其表面的电极材料内部产生拉应力，当拉应力达到电极材料的断裂极限时，电极材料断裂，形成纳米级裂缝结构，本发明解决了传统金属薄膜断裂所需的应变来源问题，裂缝位置精确可控，控制加热温度和时间可以改变纳米缝宽度大小；同时，面板受热均匀，保证了阵列化纳米裂缝电极大面积并行制造的可行性和均匀性。
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