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公开(公告)号：CN111128668B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN201911302062.7
申请日：2019-12-17
Applicant: 西安航天动力研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明涉及一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法，旨在解决现有技术中存在的阻抗匹配系统尺寸大以及适用性差的问题，本发明的一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，包括固定匹配器和宽频射频源；固定匹配器包括固定电容C1和固定电容C2；固定电容C1一端与放电腔内的射频天线连接，另一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接固定电容C2一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接，另一端接地；宽频射频源用于调节射频频率。基于一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，本发明还提供了一种用于射频等离子体的阻抗匹配方法，该方法操作简单效率高。
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公开(公告)号：CN116845524A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310697760.1
申请日：2023-06-13
Applicant: 西安航天动力研究所
Abstract: 本发明公开了一种发动机天线异常放电抑制装置及磁等离子体发动机，以解决现有技术中随着射频功率的增加，电离天线及加速天线周围会产生较强的电磁场，经常导致放电室外部引起高压击穿，产生异常放电，破坏发动机稳定工作的问题。具体包括真空壳体；所述真空壳体套装在所述放电室、电离天线以及加速天线外，并与放电室密封连接，其内部为真空。
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公开(公告)号：CN116828682A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310697763.5
申请日：2023-06-13
Applicant: 西安航天动力研究所
Abstract: 本发明公开了一种小尺寸高功率螺旋波等离子体源装置及磁等离子体发动机，以解决现有的磁等离子体发动机中螺旋波等离子体源的加载功率低，且磁等离子体发动机运行不稳定，还增大了磁等离子体发动机尺寸的问题。具体包括电离天线、真空壳体以及超导磁体；所述电离天线绕制在所述放电室外，用于电离放电室内的气体工质并产生等离子体；所述真空壳体同轴套装在放电室及电离天线外，其内部为真空环境；所述超导磁体同轴套装在真空壳体外，且与电离天线对应。
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公开(公告)号：CN119801864A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411882719.2
申请日：2024-12-19
Applicant: 西安航天动力研究所
IPC: F03H1/00
Abstract: 本发明涉及电推进技术，为解决现有贮供单元流量控制精度低、调节速度慢等技术问题，而提出一种用于固体工质贮供系统的流量调节装置及调节方法，该流量调节装置包括调节壳体，其两端分别设置有输入接口和输出接口，调节壳体内设置有工质分流腔、多个毛细管和工质整流腔；工质分流腔的输入端与输入接口连接，输出端与多个毛细管的输入端连接；多个毛细管相互平行的设置在调节壳体内，每个毛细管的输出端均与工质整流腔的输入端连接；工质整流腔的输出端与输出接口连接；每个毛细管的外表面上均设置有热控装置，毛细管上的热控装置对应连接外部控温系统，用于根据不同工质流量为毛细管提供不同环境温度。
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公开(公告)号：CN111128668A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911302062.7
申请日：2019-12-17
Applicant: 西安航天动力研究所
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明涉及一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统及方法，旨在解决现有技术中存在的阻抗匹配系统尺寸大以及适用性差的问题，本发明的一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，包括固定匹配器和宽频射频源；固定匹配器包括固定电容C1和固定电容C2；固定电容C1一端与放电腔内的射频天线连接，另一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接固定电容C2一端通过射频传输线与宽频射频源的输出端连接，另一端接地；宽频射频源用于调节射频频率。基于一种用于射频等离子体的阻抗匹配系统，本发明还提供了一种用于射频等离子体的阻抗匹配方法，该方法操作简单效率高。
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