Patent search ap:("财团法人工业技术研究院") AND inv:"高建纲" Page 1

1.

发明公开
硅溶胶－凝胶光波导的制作方法失效

公开(公告)号：CN1318761A

公开(公告)日：2001-10-24

申请号：CN00105683.2

申请日：2000-04-17

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 苏忠杰 , 高建纲 , 林谕男 , 蔡春鸿 , 齐正中 , 刘容生

IPC: G02B6/16 , B32B1/00

Abstract: 一种硅溶胶－凝胶(sol－gel)光波导的制作方法,包含溶液配置、光波导光阻模组制作及光波导浇铸烧结成形三个步骤。该溶液配置是以水及酒精混合,再以经调整酸碱值的醇溶液与四氧基乙硅在室温下搅拌而成;该光波导光阻模组制作工艺是经软烤、曝光、显影,并用去离子水洗净经氮气枪吹干后,再硬烤完成制作;该光波导浇铸烧结成形是经旋镀处理、加热烧结,去除光阻模组等步骤,以完成一硅溶胶－凝胶光波导制作工艺。

Patent Agency Ranking