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公开(公告)号：CN1714754A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510089698.X
申请日：2005-06-30
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: B06B1/0292 , B06B2201/76
Abstract: 一种电容性显微机械加工的超声波传感器(cMUT)包括下部电极。而且，cMUT包括与下部电极相邻设置的隔板，使得在隔板和下部电极之间形成具有第一间隙宽度的间隙。此外，cMUT包括形成在间隙中的至少一个部件，该至少一个部件设置为在隔板和下部电极之间具有第二间隙宽度。
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