用于电腐蚀工艺的电极及其关联方法

    公开(公告)号:CN107876913A

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:CN201710915129.9

    申请日:2017-09-29

    Abstract: 用于电腐蚀工艺的电极包括:轴杆;主体,其连接到所述轴杆;多个加工镶件;绝缘层;以及冲洗盖,其安置于所述主体上且连接到所述轴杆。所述轴杆包括通道、多个第一开口和第二开口,其中每个开口连接到所述通道。所述主体包括多个主要冲洗通道,其中每个通道连接到对应第一开口。所述多个加工镶件沿圆周方向彼此隔开且可拆卸地连接到所述主体的外围端部。每个加工镶件包括连接到对应主要冲洗通道的至少一个第三开口。所述绝缘层安置于所述主体的顶表面和底表面上。所述冲洗盖包括多个侧面冲洗通道和多个第四开口,其中每个通道连接到对应第二开口。

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