公开(公告)号：CN105369196A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510931608.0

申请日：2010-08-12

Applicant: 通用电气公司

Inventor： M.颜 ,  L.G.特纳 ,  A.G.埃尔拉特 ,  W.F.莫纳罕 ,  D.J.史密斯

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/56

CPC classification number: H01L51/56 ,  C23C14/042 ,  C23C14/562 ,  H01L51/0021 ,  H01L51/5092 ,  H01L51/5221

Abstract: 一种用于在基于连续卷对卷蒸发的沉积过程中在OLED基底上施加图案化涂层的装置，其包括蒸发沉积源、处理滚筒、驱动辊和荫罩，其中荫罩包括掩蔽线特征，掩蔽线特征选择性地防止涂层沉积在基底上。还提出了一种用于施加涂层的方法。