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公开(公告)号：CN116494129A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310521035.9
申请日：2023-05-08
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24B53/017
Abstract: 本发明公开了一种圆弧形电镀CBN砂轮的修整方法，在数控光学曲线磨床上，通过“复印碳片法”检测工具砂轮半径值以及工具砂轮的轮廓参数，并将采集的数据导入使用Matlab软件中，计算复印碳片上圆弧部分各点的坐标及各点与X轴的夹角，完成了工具砂轮的关键参数检测采集及数据处理；根据检测采集金刚石砂轮的轮廓参数，优化圆弧形电镀CBN砂轮的数控修整程序，从而避免因工具砂轮轮廓精度不佳影响圆弧形电镀CBN砂轮的修整精度，最终实现圆弧形电镀CBN砂轮的批量精密修整加工。
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公开(公告)号：CN114227555B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202111451345.5
申请日：2021-12-01
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00 , B24B53/017 , B23K26/352 , B23K26/082 , B23K26/70 , B23K103/00
Abstract: 本发明公开了一种制造化学机械抛光修整器的方法，属于激光精加工技术领域。该加工系统平台包括紫外皮秒激光器、激光光路、三维扫描振镜、三轴数控平台，激光光束从紫外皮秒激光器中输出，经过激光光路射入三维扫描振镜，三维扫描振镜控制激光对三轴数控平台上的陶瓷基体在三维方向上进行快速扫描加工，制得表面具有金字塔型结构的基体，再通过热丝化学气相沉积在该基体表面沉积厚度均匀的金刚石薄膜，制造出化学机械抛光修整器。该制造方法实现了不同结构、尺寸、间距微结构的精密加工，解决了传统修整器金刚石磨料尺寸、形状以及金刚石把持力弱等问题，进而保证抛光垫的修整质量及效率，提高晶圆的化学机械抛光的抛光质量。
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公开(公告)号：CN115035303A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210692100.X
申请日：2022-06-17
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种电镀有色cBN砂轮的磨料浓度检测方法，步骤为：获取未电镀的有色cBN磨料及白色底板的整体彩色图像I1，进行数字图像处理得到二值化图像M1，计算当前批次有色cBN磨料的颜色区间和单颗磨料所占像素点数量区间；获取与有色cBN磨料同批次的电镀有色cBN砂轮局部彩色图像I2；对局部彩色图像I2进行数字图像处理，获取基于本批次有色cBN特征的二值化图像M2，计算符合本批次有色cBN磨料的单颗磨料所占像素点数量的连通域数量和像素点数量，通过连通域内总像素点数量计算电镀有色cBN砂轮的磨料浓度。本发明提高了磨料浓度检测的客观性和一致性，提高了准确性和检测效率，解决磨料浓度检测技术中检测效率低的问题。
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公开(公告)号：CN114851082A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210696720.0
申请日：2022-06-20
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种齿轮加工用金刚石滚轮的振荡式修整方法，包括设置在五轴数控机床主轴上的工具砂轮，工具砂轮一侧的五轴数控机床工作台上设置金刚石滚轮，工具砂轮靠近金刚石滚轮一侧为工作型面，金刚石滚轮一侧为上工作型面，金刚石滚轮另一侧为下工作型面，工具砂轮沿五轴数控机床Z方向做振荡运动，同时，金刚石滚轮相对工具砂轮做滚动运动，通过工具砂轮的振荡运动与金刚石滚轮的滚动运动相结合，可以实现对金刚石滚轮工作型面上几乎每个点的均匀反复磨削，同时可保证工具砂轮的均匀磨损，保持其型面稳定。可有效解决传统方法修整金刚石滚轮时，工具砂轮磨损不均匀、修整精度低的问题，进而提高齿轮的加工精度。
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公开(公告)号：CN119495653A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411745631.6
申请日：2024-12-02
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/473 , H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种高导热高均温微通道结构及其加工方法，通过设置微通道热沉及其上方的亚克力盖板，且亚克力盖板内嵌有收缩流道，收缩流道的高度从进口端至出口端高度递减，微通道热沉的主体材质为金刚石/铜复合材料，由于其高热导率，使用金刚石/铜基微通道可以大幅降低芯片工作过程中的温度，而通过收缩型微通道可以提高出口侧流速，强化换热效果，减小进出口温差，强化均温性，虽然收缩型微通道会增加流体流动阻力，磁控溅射聚四氟乙烯可以使亚克力流道疏水，减小流动阻力，因而该型微通道设计集高散热、高均温、低流阻能力一体，提升了现有微通道的整体换热性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119238298A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411655691.9
申请日：2024-11-19
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种螺杆强力磨削用砂轮及其使用方法，包括砂轮基体和设置在砂轮基体上的电镀层；且所述砂轮的磨削面上设有若干道截形，所述截形包括依次设置的粗磨截形和精磨截形。本发明通过将砂轮设为粗精一体结构，可以实现粗精一体磨削，消除了重复定位误差，简化了工艺，提高了加工精度和效率；本发明通过设置多个磨削截形，截形采用不同的粒度，形成粗磨截形和精磨截形，从而起到了粗精一体磨削的作用。
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公开(公告)号：CN118514002A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410625800.6
申请日：2024-05-20
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24B53/047 , B24B53/12
Abstract: 本发明提供了一种金刚石滚轮内凹圆弧型面的修整方法，解决了现有的滚轮修整方法对工具砂轮廓形精度依赖性高、工具砂轮磨损不均匀、修整路径保持性差、修整精度低的技术问题。所述修整方法使金刚石滚轮和工具砂轮绕平行的轴线回转，工具砂轮磨削面的轮廓线上的磨削点与金刚石滚轮内凹圆弧型面的轮廓线#imgabs0#相切，在每个磨削点与轮廓线#imgabs1#相切时，控制金刚石滚轮进行往复摆动修整，使摆动修整的范围覆盖整个内凹圆弧型面。本发明的修整方法降低了对工具砂轮轮廓线精度的依赖性，还在修整过程中反修整工具砂轮，提高了修整路径保持性，提高了金刚石滚轮的修整精度，适用于几乎所有内凹圆弧型面的修整，并有效避免修整过程中的干涉。
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公开(公告)号：CN114851082B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202210696720.0
申请日：2022-06-20
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明提出了一种齿轮加工用金刚石滚轮的振荡式修整方法，包括设置在五轴数控机床主轴上的工具砂轮，工具砂轮一侧的五轴数控机床工作台上设置金刚石滚轮，工具砂轮靠近金刚石滚轮一侧为工作型面，金刚石滚轮一侧为上工作型面，金刚石滚轮另一侧为下工作型面，工具砂轮沿五轴数控机床Z方向做振荡运动，同时，金刚石滚轮相对工具砂轮做滚动运动，通过工具砂轮的振荡运动与金刚石滚轮的滚动运动相结合，可以实现对金刚石滚轮工作型面上几乎每个点的均匀反复磨削，同时可保证工具砂轮的均匀磨损，保持其型面稳定。可有效解决传统方法修整金刚石滚轮时，工具砂轮磨损不均匀、修整精度低的问题，进而提高齿轮的加工精度。
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公开(公告)号：CN114227555A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111451345.5
申请日：2021-12-01
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00 , B24B53/017 , B23K26/352 , B23K26/082 , B23K26/70 , B23K103/00
Abstract: 本发明公开了一种制造化学机械抛光修整器的方法，属于激光精加工技术领域。该加工系统平台包括紫外皮秒激光器、激光光路、三维扫描振镜、三轴数控平台，激光光束从紫外皮秒激光器中输出，经过激光光路射入三维扫描振镜，三维扫描振镜控制激光对三轴数控平台上的陶瓷基体在三维方向上进行快速扫描加工，制得表面具有金字塔型结构的基体，再通过热丝化学气相沉积在该基体表面沉积厚度均匀的金刚石薄膜，制造出化学机械抛光修整器。该制造方法实现了不同结构、尺寸、间距微结构的精密加工，解决了传统修整器金刚石磨料尺寸、形状以及金刚石把持力弱等问题，进而保证抛光垫的修整质量及效率，提高晶圆的化学机械抛光的抛光质量。
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公开(公告)号：CN119457274A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411688597.3
申请日：2024-11-25
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B23F21/10
Abstract: 本发明提出了一种修整内啮合珩磨砂轮的金刚石刀具，所述金刚石刀具包括环形的刀具基体和设置在刀具基体前侧的金刚石层；金刚石层与刀具基体同轴固定；金刚石层的外周上设有修形斜齿以使修形斜齿的端面齿刃用于修整珩磨砂轮。本发明的金刚石刀具为外齿状斜齿轮结构，对珩磨砂轮进行啮合修整时，仅依靠金刚石层上修形斜齿的端面齿刃对珩磨砂轮进行材料去除，修形斜齿具有修形齿形，可以实现对珩磨砂轮的齿形修形，同时通过珩齿机床的运动带动金刚石刀具实现对珩磨砂轮齿面的齿向修形；由于修形斜齿的齿面与珩磨砂轮的齿面无接触，因此可适用于不同齿向修形需求的珩磨砂轮的修整。
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