水溶性感光聚酰亚胺聚合物、其制法及含其的光阻组合物

    公开(公告)号:CN101776847A

    公开(公告)日:2010-07-14

    申请号:CN200910001495.9

    申请日:2009-01-09

    Abstract: 本发明有关一种水溶性感光聚酰亚胺聚合物、其制法以及含其的光阻组合物,该水溶性感光聚酰亚胺聚合物的特征为具有下式的重复单位:式中,R1为含有4个以上碳原子的四价有机基;R2为3价或4价有机基,其上可视情况又带有羧基;R3表示2价至4价有机基;A表示OH或COOH基;R4及R5可相同亦可不同,分别表示为含1至6个碳原子的亚烷基、含6至20个碳原子的亚芳基、亚芳烷基、亚芳氧基亚烷基;R7及R8可相同或不同且独立为选自氢、卤素、羧基、含1-20个碳的直链或环状烷基、含6-20个碳原子的芳基、烷芳基及芳烷基;R9表示氢原子或含有1至6个碳原子的烷基;x表示1或2的整数;y表示0、1或2的整数;a、b及n表示大于或等于1的整数;m及k表示大于0的整数。

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