抗蚀剂树脂及其制造方法

    公开(公告)号:CN106255714A

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201580020255.7

    申请日:2015-04-15

    CPC classification number: C08G73/10

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种在维持高耐热性的同时低温操作性优异的聚酰胺酸和聚酰亚胺。本发明的聚酰胺酸以下述通式(1)表示[式中,R1和R2分别独立地表示单键、碳原子数为1~5的亚烷基、碳原子数为2~5的亚烯基或碳原子数为6~10的亚芳基;R3和R4分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为2~5的烯基、碳原子数为6~10的芳基或卤原子;n表示0~20的整数;Y表示除了二羧酸的羧基或二羧酸酐的酸酐基以外的残基;以及Z表示除了四羧酸的羧基或四羧酸二酐的酸酐基以外的残基]。

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