公开(公告)号：CN105228968A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201380075804.1

申请日：2013-07-29

Applicant: 阿托艾迪股份制公司

Inventor： 伊沃达斯·派布瑞萨 ,  格季米纳斯·瑞克卡提斯

IPC: C03C23/00 ,  G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  C03C17/09 ,  C03C23/0025 ,  C03C2218/31 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  G01N21/554 ,  G01N2021/258 ,  G01N2021/651

Abstract: 一种等离子体激元传感器，至少包括一个基底(1)、所述基底上用激光加工的活性表面区域(2)和活性表面(2)上的金属镀层，其中用短激光脉冲制作所述激光加工的表面时，表面浅层材料的粘度降低，并且在用于降低粘度的相同脉冲或接连入射的一个或多个脉冲的作用下，形成随机自组织纳米结构，所述纳米结构小于1μm。在最佳实施例中，所述基底材料为非晶态，例如钠钙玻璃或类似材料。另外，本发明还公开了使用显微镜检查中使用的载玻片或盖玻片来在其上表面制作活性传感器区域(2)。