公开(公告)号：CN110400792B

公开(公告)日：2023-05-19

申请号：CN201811623772.5

申请日：2018-12-28

Applicant: 韩国科学技术研究院

Inventor： 金成根 ,  李愚澈 ,  金相兑 ,  宋眩澈 ,  白承协 ,  崔志远 ,  金镇相 ,  姜钟鈗 ,  C·W·比尔劳斯基 ,  廉政桓 ,  E·S·拉森

IPC: H01L23/64 ,  H10B12/00

Abstract: 本发明提供一种介电膜，其由化学式为BexM1‑xO的化合物构成，所述M是碱土金属中的一种，所述x的值大于0且小于0.5，所述介电膜具有岩盐(rocksalt)结构作为常温稳定相。

公开(公告)号：CN110400792A

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201811623772.5

申请日：2018-12-28

Applicant: 韩国科学技术研究院

Inventor： 金成根 ,  李愚澈 ,  金相兑 ,  宋眩澈 ,  白承协 ,  崔志远 ,  金镇相 ,  姜钟鈗 ,  C·W·比尔劳斯基 ,  廉政桓 ,  E·S·拉森

IPC: H01L23/64 ,  H01L27/108

Abstract: 本发明提供一种介电膜，其由化学式为BexM1-xO的化合物构成，所述M是碱土金属中的一种，所述x的值大于0且小于0.5，所述介电膜具有岩盐(rocksalt)结构作为常温稳定相。