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发明公开
氮化硅复合材料及探针导向零件审中-实审

公开(公告)号：CN118076570A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202280067837.0

申请日：2022-10-06

Applicant: 黑崎播磨株式会社

Inventor： 俣野泰司 , 滨崎俊夫 , 佐藤裕

IPC: C04B35/596 , C04B35/488 , G01R1/06 , G01R1/073

Abstract: 本发明提供一种稳定地具备与硅晶片同等的热膨胀系数和高强度的氮化硅复合材料及探针导向零件。具体而言，本发明的氮化硅复合材料包含35质量％以上70质量％以下的Si3N4、25质量％以上60质量％以下的ZrO2、合计0.5质量％以上且小于5质量％的选自MgO、SiO2、Al2O3及Y2O3中的1种以上，在将粉末X线衍射的αSi3N4的(210)面峰值强度作为Iα，将βSi3N4的(210)面峰值强度作为Iβ时，峰值强度比：Iβ/(Iα+Iβ)为0.05以上0.80以下。本发明的探针导向零件具备使用有所述氮化硅复合材料的板状的本体部和在所述本体部上穿通探针的多个贯穿孔及/或狭缝。

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