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公开(公告)号：CN116368375A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180074221.1
申请日：2021-10-14
Applicant: AGC株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 一种缺陷检查装置，基于被检查体的图像来检查在上述被检查体中产生的缺陷，其中，具备多个缺陷辨别器，上述缺陷辨别器基于图像，使用规定的机器学习模型来辨别各自不同的缺陷的种类，各个缺陷辨别器所辨别的缺陷的种类是作为缺陷检查装置的辨别对象的规定数量的缺陷种类的一部分。本实施方式能够以缺陷检查装置、缺陷检查方法、制造方法中的任意一种方式实现。根据本实施方式，能够容易地进行缺陷检查中的系统管理。
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