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公开(公告)号:CN107430341B
公开(公告)日:2021-03-05
申请号:CN201680008942.1
申请日:2016-02-02
Applicant: AGC株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F8/30 , C08F220/22 , C08F290/12 , G03F7/004 , G03F7/027
Abstract: 本发明提供含有在形成树脂膜时不易对有机半导体等基材带来损伤的交联性氟树脂的感光性树脂组合物以及使用其的树脂膜、有机半导体元件及其制造方法,以及适用于感光性树脂组合物的氟树脂。一种感光性树脂组合物,含有具有聚合性碳‑碳双键、氟原子含有率为47质量%以上的氟树脂、和具有聚合性碳‑碳双键的交联剂(其中,上述氟树脂除外。)、和光引发剂、和非芳香族类含氟溶剂。
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公开(公告)号:CN108602927A
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201780007185.0
申请日:2017-01-18
Applicant: AGC株式会社
IPC: C08F220/24 , C08F220/26 , C08K3/16 , C08K5/42 , C08L33/14 , C12M1/00 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/039 , B01L3/5085 , B01L2200/0668 , B01L2300/0819 , B01L2300/0896 , B01L2300/12 , C08F220/16 , C08F220/18 , C08F220/20 , C08F220/24 , C08F220/28 , C08F220/32 , C08F2220/281 , C08F2220/325 , C08F2800/10 , C08K3/16 , C08K5/42 , C08L33/14 , G03F7/0045 , G03F7/16 , G03F7/168 , G03F7/2002 , G03F7/322 , C08F2220/1825
Abstract: 本发明提供不经PEB处理也能通过碱性水溶液以高分辨率形成斥液性膜的生物芯片用感光性树脂组合物、斥液性膜的形成方法以及生物芯片的制造方法等。生物芯片用感光性树脂组合物,它是含有下述聚合物(A)或者含有下述聚合物(B)和下述聚合物(C)的组合物,相对于构成该组合物的单元的总数,含有35~97摩尔%的下述单元(u2)。单元(u2):下式(II)所示的单元。聚合物(A):含有具有含1个以上氟原子的有机基团的单元(u1)和单元(u2)的聚合物。聚合物(B):含有具有含1个以上氟原子的有机基团的单元(u1)的除聚合物(A)以外的聚合物。聚合物(C):含有单元(u2)的除聚合物(A)以外的聚合物。[化1](R21:氢原子或甲基、R22:烷基等、R23:氢原子等、R24:烷基、环烷基等。)
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公开(公告)号:CN109415467A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201780042319.2
申请日:2017-07-03
Applicant: AGC株式会社
IPC: C08F220/24 , C08F220/28 , C08F220/32 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供能够形成没有涂布不均的斥液性的涂膜的感光性组合物及其制造方法、用于感光性组合物时能够形成没有涂布不均的斥液性的涂膜的聚合物的制造方法、以及使用了该感光性组合物的层叠体的制造方法。含有下述树脂P1和下述树脂P2的至少一方、以及光引发剂的感光性组合物。树脂P1:由聚合物A形成的树脂,所述聚合物A含有具有含1个以上的氟原子的有机基团的单元u1、具有交联基团的单元u2、以及以下式1、下式2和下式3的任一项表示的末端基团。树脂P2:由具有所述单元u1的除所述聚合物A以外的聚合物B、具有所述单元u2的除所述聚合物A以外的聚合物C构成的树脂,所述聚合物B和所述聚合物C的至少一方具有所述末端基团。-X1-C(R1)(R2)(R3)···1、-X2-R4···2、-X3-N(R5)(R6)···3。
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公开(公告)号:CN109415550A
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201780039821.8
申请日:2017-06-06
Applicant: AGC株式会社
IPC: C08L33/16 , B29C33/38 , B29C33/58 , C08F220/24 , C08K5/04 , C08K5/17 , C08L27/12 , C09D175/04 , C09D201/04
Abstract: 本发明提供能形成脱模性优异、且耐久性优异的膜的树脂组合物和涂布液、以及具备脱模性优异、且耐久性优异的脱模膜的带脱模膜的模具及其制造方法。树脂组合物包含共聚物(A1)和化合物(B),上述共聚物(A1)具有来源于具有有1个以上的氟原子的有机基团(但不具有封端异氰酸酯基和含活性氢原子的官能团)的单体的单元、来源于具有封端异氰酸酯基(但不具有含活性氢原子的官能团)的单体的单元、和来源于具有含活性氢原子的官能团(但不具有封端异氰酸酯基)的单体的单元;上述化合物(B)具有2个以上的选自羟基、氨基和羧基的至少1种的官能团、且其沸点在共聚物(A1)中的封端异氰酸酯基的封端解离温度以上且在400℃以下。
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