公开(公告)号：CN105856061B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201610211042.9

申请日：2012-03-12

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 女部田裕一 ,  斋藤准一 ,  中村英生 ,  木村宏

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/26

CPC classification number: B24B37/10 ,  B24B37/26 ,  G02F1/1303 ,  G02F2201/48

Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨方法及研磨装置，使板状体保持部件和研磨工具相对靠近，从而通过上述研磨工具研磨由上述板状体保持部件所保持的上述板状体，其中，上述板状体保持部件保持板状体的非研磨面，并且进行公转及自转的某一个动作，上述研磨工具在对上述板状体的研磨面进行研磨的面上具有沿着一个方向的多个槽，并且该研磨工具进行公转及自转的另一个动作，在所述板状体的研磨方法中，独立控制上述板状体保持部件及上述研磨工具的上述公转动作及上述自转动作，在上述板状体的研磨过程中，变更上述自转的角速度。