公开(公告)号：CN106573443B

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201580041401.4

申请日：2015-07-28

Applicant: AGC株式会社

Inventor： 藤原晃男 ,  龟田祐人 ,  牛光耀 ,  岸政洋 ,  秋田阳介 ,  松山祥孝

IPC: B32B9/04 ,  B32B7/06 ,  B32B17/06 ,  C03C17/22 ,  C03C17/23 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02

Abstract: 本发明的目的在于，提供一种抑制进行高温下的处理时的玻璃基板(16)和无机膜(14)之间的发泡，进而无机膜(14)与玻璃基板(16)的密合性也良好的带无机膜的支撑基板(10)。本发明涉及一种带无机膜的支撑基板(10)，其特征在于，带无机膜的支撑基板(10)的无机膜(14)侧的表面的表面粗糙度Ra大于2nm，并且在负荷曲线的负荷长度率0％与10％时的峰高的差为20nm以下。