公开(公告)号：CN113227907B

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN201980086667.9

申请日：2019-12-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 张幼平 ,  M·P·F·格宁 ,  吴聪 ,  苏静 ,  胡炜玄 ,  邹毅

IPC: G03F7/20

Abstract: 本文中描述了用于训练过程模型并且确定模拟图案(例如，对应于热点)的分级的方法。训练图案化过程的机器学习模型的方法涉及获得训练数据集合，训练数据集合包括：(i)与要印刷在衬底上的掩模图案相关联的模拟图案，(ii)使用掩模图案成像在衬底上的印刷图案的检查数据，以及(iii)在掩模图案在衬底上的成像期间应用的图案化过程的参数的测量值；基于训练数据集合训练机器学习模型以预测模拟图案和印刷图案的特性的差异。经训练的机器学习模型还用于确定热点的分级。在另一种方法中，基于测量数据训练模型以预测热点的分级。

公开(公告)号：CN115885216A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202180050609.8

申请日：2021-07-29

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 陈浩 ,  胡炜玄 ,  贾棋 ,  刘梦 ,  孙任成 ,  伍健一

IPC: G03F1/36

Abstract: 本文描述了一种选择图案的方法，图案用于训练模型以预测待印制在衬底上的图案。方法包括(a)获得多个图案的图像，其中多个图案对应于待印制在衬底上的目标图案；(b)将图像分组成特定图案组和多个主图案组；以及(c)基于图像输出图案集作为用于训练模型的训练数据，其中图案集包括特定图案组和来自每个主图案组的代表性主图案。

公开(公告)号：CN113227907A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201980086667.9

申请日：2019-12-04

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 张幼平 ,  M·P·F·格宁 ,  吴聪 ,  苏静 ,  胡炜玄 ,  邹毅

IPC: G03F7/20

Abstract: 本文中描述了用于训练过程模型并且确定模拟图案(例如，对应于热点)的分级的方法。训练图案化过程的机器学习模型的方法涉及获得训练数据集合，训练数据集合包括：(i)与要印刷在衬底上的掩模图案相关联的模拟图案，(ii)使用掩模图案成像在衬底上的印刷图案的检查数据，以及(iii)在掩模图案在衬底上的成像期间应用的图案化过程的参数的测量值；基于训练数据集合训练机器学习模型以预测模拟图案和印刷图案的特性的差异。经训练的机器学习模型还用于确定热点的分级。在另一种方法中，基于测量数据训练模型以预测热点的分级。