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公开(公告)号：CN116057462A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180053608.9
申请日：2021-08-04
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： J·C·崔佛斯 , F·贝里 , M·C·布拉姆斯 , A·J·A·布朗司 , 罗纳德·弗兰西斯克斯·赫尔曼·休格斯
IPC: G02F1/01
Abstract: 一种宽带辐射源装置，包括光纤组件，所述光纤组件包括多个光纤，每个光纤填充有气体介质；其中所述宽带辐射源装置能够操作以使得能够独立地选择光纤的子集以用于接收输入辐射束，以便在任一时间仅从所述多个光纤的子集产生宽带输出。
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