公开(公告)号：CN113508340B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202080018259.2

申请日：2020-02-06

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 关天男 ,  A·A·梅尤恩迪杰克斯 ,  P·J·M·范吉尔斯 ,  M·A·C·费许伦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本文披露了一种被布置成支撑物体的物体保持器，所述物体保持器至少包括芯层和电极层；其中，所述物体保持器具有被布置成由静电夹具夹持至用于所述物体保持器的台上的表面；其中，所述物体保持器包括多个突节布置，每个突节布置包括突节主体、沟槽、突节电极和绝缘部分。

公开(公告)号：CN110709776B

公开(公告)日：2022-11-18

申请号：CN201880035541.4

申请日：2018-03-05

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·范杜文博德 ,  P·J·M·范吉尔斯 ,  P·J·范丹欧弗 ,  C·H·M·巴尔蒂斯

IPC: G03F7/20 ,  B08B6/00 ,  H01L21/683

Abstract: 一种用于从夹具(4)去除颗粒的设备(16)，该设备可布置在夹具附近，并且包括：绝缘部分(18)；支撑部分(20)，绝缘部分的至少一部分或全部被布置在支撑部分上，其中支撑部分被配置使得当电压被施加到设备的支撑部分和/或夹具的电极(8)时，支撑部分充当电极，以允许在设备与夹具之间生成电场，以用于从夹具去除颗粒。

公开(公告)号：CN110709776A

公开(公告)日：2020-01-17

申请号：CN201880035541.4

申请日：2018-03-05

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·范杜文博德 ,  P·J·M·范吉尔斯 ,  P·J·范丹欧弗 ,  C·H·M·巴尔蒂斯

IPC: G03F7/20 ,  B08B6/00 ,  H01L21/683

Abstract: 一种用于从夹具(4)去除颗粒的设备(16)，该设备可布置在夹具附近，并且包括：绝缘部分(18)；支撑部分(20)，绝缘部分的至少一部分或全部被布置在支撑部分上，其中支撑部分被配置使得当电压被施加到设备的支撑部分和/或夹具的电极(8)时，支撑部分充当电极，以允许在设备与夹具之间生成电场，以用于从夹具去除颗粒。

公开(公告)号：CN117795430A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202280055687.1

申请日：2022-07-13

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 关天男 ,  黄壮雄 ,  J·B·C·恩格伦 ,  G·纳基伯格鲁 ,  M·克鲁兹加 ,  P·J·M·范吉尔斯 ,  A·特拉利 ,  S·F·德维瑞斯 ,  M·M·C·F·特尼森 ,  R·J·布鲁尔斯 ,  F·范德梅尤伦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种静电保持器，包括本体和夹持元件，该夹持元件附接到本体，所述夹持元件包括电极，该电极用于在夹持元件与第一待夹持物体之间施加吸引力，其中本体的外边缘被配置为在本体的外边缘与第一待夹持物体之间提供间隙，该间隙被配置为用于输出用于减少到达第一待夹持物体或到达位于保持器的相反侧上的第二待夹持物体的灰尘颗粒的流体。

公开(公告)号：CN113508340A

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202080018259.2

申请日：2020-02-06

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： 关天男 ,  A·A·梅尤恩迪杰克斯 ,  P·J·M·范吉尔斯 ,  M·A·C·费许伦

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本文披露了一种被布置成支撑物体的物体保持器，所述物体保持器至少包括芯层和电极层；其中，所述物体保持器具有被布置成由静电夹具夹持至用于所述物体保持器的台上的表面；其中，所述物体保持器包括多个突节布置，每个突节布置包括突节主体、沟槽、突节电极和绝缘部分；其中，对于每个突节布置，所述突节主体的部分从所述物体保持器的所述表面突出，所述沟槽在与所述物体保持器的所述表面平行的平面中围绕所述突节主体，所述沟槽沿与所述物体保持器的所述表面正交的方向从所述物体保持器的所述表面延伸以至少通过所述电极层，所述突节电极由所述电极层构成并且围绕所述沟槽，并且所述绝缘部分由所述电极层构成并且围绕所述电极层；其中，所述电极层还包括一个或更多个夹持电极，所述夹持电极是静电夹具的电极，所述静电夹具被布置成将所述表面夹持至用于所述物体保持器的台上，并且，在所述电极层内，突节布置的每个绝缘部分由夹持电极围绕；并且其中，所述物体保持器包括布置在每个突节电极与所述芯层之间的一个或更多个导电通孔。

公开(公告)号：CN101960387A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200980107411.8

申请日：2009-03-02

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·本特勒 ,  P·J·M·范吉尔斯

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70725

Abstract: 一种可控地驱动电动致动器的驱动系统包括：电流传感器系统(143)，所述电流传感器系统感测由所述致动器(M1)传导的电流(I)；和驱动器(141)，所述驱动器基于所述电流传感器系统的输出信号电动地驱动所述致动器。所述电流传感器系统包括至少第一电流传感器(144、146)和第二电流传感器(145、147)，所述第一电流传感器和第二电流传感器对于将感测的电流具有彼此不同的灵敏度，所述驱动系统包括电流传感器控制器(148)，所述电流传感器控制器控制所述电流传感器中的每一个确定所述电流传感器系统的所述输出信号的程度。