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公开(公告)号：CN113119441A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202010635768.1
申请日：2020-07-03
Applicant: DAS 株式会社
Abstract: 本发明涉及一种脱泡装置，包括：闸板部，提供用于对粘附有薄膜的基板进行脱泡的脱泡空间；下部框架，配置于闸板部的下侧，用于支撑所述闸板部；上部框架，配置于闸板部的上侧，用于支撑所述闸板部；升降部，使闸板部沿上下方向移动，以使所述闸板部在密闭所述脱泡空间的密闭位置与开放所述脱泡空间的开放位置之间移动；限制部，在限制位置与允许位置之间移动，在所述限制位置，所述限制部通过被所述上部框架支撑而在所述密闭位置限制所述闸板部移动，在所述允许位置，通过解除对所述上部框架的支撑而允许所述闸板部移动；移动部，结合于所述限制部，使所述限制部沿垂直于所述上下方向的方向在所述限制位置与所述允许位置之间移动。
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