公开(公告)号：CN102317860A

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN201080007529.6

申请日：2010-02-09

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 丸山修 ,  原田和明 ,  赤川裕之

IPC: G03F1/60 ,  B24B9/00

CPC classification number: B24B9/065 ,  G03F1/60

Abstract: 本发明提供一种掩模板用基板、掩模板以及光掩模。该掩模板用基板是由正反两个主表面和四个端面构成的薄板，在端面与主表面之间设置倒角面。主表面的一条边的长度为500mm以上。并且，在端面设置：从相邻的端面相接的角部起在主表面的边方向上具有规定长度(边L4的长度)的范围的区域亦即两个角部侧区域、和被这两个角部侧区域夹着的中央侧区域。并且，将角部侧区域的端面做成表面粗糙度(Ra)为0.5nm以下的镜面，将中央侧区域做成粗糙面。

公开(公告)号：CN102317860B

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201080007529.6

申请日：2010-02-09

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 丸山修 ,  原田和明 ,  赤川裕之

IPC: G03F1/60 ,  B24B9/00

CPC classification number: B24B9/065 ,  G03F1/60

Abstract: 本发明提供一种掩模板用基板、掩模板以及光掩模。该掩模板用基板是由正反两个主表面和四个端面构成的薄板，在端面与主表面之间设置倒角面。主表面的一条边的长度为500mm以上。并且，在端面设置：从相邻的端面相接的角部起在主表面的边方向上具有规定长度(边L4的长度)的范围的区域亦即两个角部侧区域、和被这两个角部侧区域夹着的中央侧区域。并且，将角部侧区域的端面做成表面粗糙度(Ra)为0.5nm以下的镜面，将中央侧区域做成粗糙面。