公开(公告)号：CN100579727C

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200410043041.5

申请日：2004-04-15

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 樱井富士夫 ,  三原严 ,  五十岚善则 ,  长谷川亨

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24D18/00 ,  B24B37/24 ,  B24D3/342

Abstract: 本发明提供一种抛光垫和一种生产该抛光垫的方法，该抛光垫在抛光过程中甚至在磨光后，显示出优异的抛光稳定性和优异的浆液保持性，能够有效地防止抛光速率的减少，并且对于待抛光基质来说，也具有优异的压平性能。该方法包含将水溶性微粒如β-环糊精分散到交联剂如聚丙烯乙二醇中，以获得分散体，将分散体与多异氰酸酯如4，4‘-二苯基甲烷二异氰酸酯和/或末端为异氰酸酯的尿烷预聚物混合，使混合溶液反应，以获得具有水溶性微粒分散在聚合物基质中的抛光垫。

公开(公告)号：CN1539598A

公开(公告)日：2004-10-27

申请号：CN200410043041.5

申请日：2004-04-15

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 樱井富士夫 ,  三原严 ,  五十岚善则 ,  长谷川亨

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24D18/00 ,  B24B37/24 ,  B24D3/342

Abstract: 本发明提供一种抛光垫和一种生产该抛光垫的方法，该抛光垫在抛光过程中甚至在磨光后，显示出优异的抛光稳定性和优异的浆液保持性，能够有效地防止抛光速率的减少，并且对于待抛光基质来说，也具有优异的压平性能。该方法包含将水溶性微粒如β－环糊精分散到交联剂如聚丙烯乙二醇中，以获得分散体，将分散体与多异氰酸酯如4，4‘－二苯基甲烷二异氰酸酯和或末端为异氰酸酯的尿烷预聚物混合，使混合溶液反应，以获得具有水溶性微粒分散在聚合物基质中的抛光垫。