公开(公告)号：CN103079716A

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201180040207.6

申请日：2011-08-17

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 徐英株 ,  郑在皓 ,  张道基 ,  廉基校 ,  林艺勳 ,  金哉旼 ,  闵庚勳 ,  朴元灿

IPC: B08B3/04 ,  B08B3/02

CPC classification number: B08B3/04 ,  B08B3/022 ,  B08B3/041 ,  B08B3/10

Abstract: 本发明公开了一种流体供给装置，其包括：内管，其具有多个孔，用于分配从供给单元提供的流体；以及外管，其包围内管设置，并且具有多个狭缝，用于将从孔分配到其中的流体喷射到外部。该外管与内管的长度基本相同。该流体供给装置可以用于薄膜清洁系统或方法中。

公开(公告)号：CN103079716B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201180040207.6

申请日：2011-08-17

Applicant: LG化学株式会社

Inventor： 徐英株 ,  郑在皓 ,  张道基 ,  廉基校 ,  林艺勳 ,  金哉旼 ,  闵庚勳 ,  朴元灿

IPC: B08B3/04 ,  B08B3/02

CPC classification number: B08B3/04 ,  B08B3/022 ,  B08B3/041 ,  B08B3/10

Abstract: 本发明公开了一种流体供给装置，其包括：内管，其具有多个孔，用于分配从供给单元提供的流体；以及外管，其包围内管设置，并且具有多个狭缝，用于将从孔分配到其中的流体喷射到外部。该外管与内管的长度基本相同。该流体供给装置可以用于薄膜清洁系统或方法中。