基板盒的保持装置及其储存方法

    公开(公告)号:CN101097879A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200710127840.4

    申请日:2007-06-29

    CPC classification number: H01L21/6734

    Abstract: 基板盒的保持装置包括用于保持具有基板的盒的支撑基底。倾斜器件固定到支撑基底,用于通过将支撑基底旋转90以上,使支撑基底绕水平轴从其中基板顶表面向上设置的水平位置旋转到其中基板顶表面向下设置的过垂直位置。基板盒的储存方法包括几乎水平地在盒中储存基板、将盒固定在支撑基底上、和绕旋转轴使支撑基底如此旋转,即基板旋转到超过90度的角度。

    形成抗蚀图的方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1215533C

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN03108318.8

    申请日:2003-03-27

    Inventor: 山下正美

    CPC classification number: G03F7/40 H01L21/0273

    Abstract: 一种形成抗蚀图的方法,在抗蚀图的再流动过程中,该方法可以有效地控制抗蚀图修正的方式/形式和修正量,即使在再流动过程中抗蚀图的变形量增加,仍然可以以理想的精度实现理想的抗蚀图。第二层形成在第一层之上,并且第一抗蚀图形成在第二层之上。利用第一抗蚀图作为掩模可以有选择性地蚀刻第二层。之后,根据第一抗蚀图调节第二或者第一层的至少部分暴露的面积的可湿性,从而形成调节了可湿性的部分。修正第一抗蚀图,利用有机溶剂使得第一抗蚀图发生再流动以扩展到调节了可湿性的面积上,因此形成了第二抗蚀图,用来有选择地蚀刻第一或第二层。

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