密封检查装置以及密封检查方法

    公开(公告)号:CN114402184A

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202080064767.4

    申请日:2020-08-31

    Abstract: 能够以比以往高精度且短时间进行检查,并以简略的结构实现密封检查。密封检查装置具有:第一夹具(11),具有:被检查对象(20)包围的端口(101)、以及与外部泄漏检测流路(104)连接的贯通孔;第二夹具(12),在与第一夹具(11)之间夹持检查对象(20);检查部位密封部(30),与第一夹具(11)以及第二夹具(12)一起将配置有检查对象(20)的空间设为闭空间;加压阀(111),将检查气体的供给源以及排气系统双方与端口(101)连接;检查气体的探测器;第一测定阀(121),将探测器与端口(101)连接;以及第二测定阀(124),将外部泄漏检测流路(104)与探测器连接。

    密封检查装置以及密封检查方法

    公开(公告)号:CN114402184B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202080064767.4

    申请日:2020-08-31

    Abstract: 能够以比以往高精度且短时间进行检查,并以简略的结构实现密封检查。密封检查装置具有:第一夹具(11),具有:被检查对象(20)包围的端口(101)、以及与外部泄漏检测流路(104)连接的贯通孔;第二夹具(12),在与第一夹具(11)之间夹持检查对象(20);检查部位密封部(30),与第一夹具(11)以及第二夹具(12)一起将配置有检查对象(20)的空间设为闭空间;加压阀(111),将检查气体的供给源以及排气系统双方与端口(101)连接;检查气体的探测器;第一测定阀(121),将探测器与端口(101)连接;以及第二测定阀(124),将外部泄漏检测流路(104)与探测器连接。

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