公开(公告)号：CN1523631A

公开(公告)日：2004-08-25

申请号：CN200310103675.0

申请日：2003-11-03

Applicant: NTN株式会社

Inventor： 矢田雄司 ,  清水茂夫 ,  德永宽哲 ,  藤川芳夫

IPC: H01J9/50

CPC classification number: Y02W30/828

Abstract: 本发明，是在设有微细图形(凸肋)的平面基板上的缺陷部中充填修补膏剂并烧固、对多余的溢出膏剂、附着在凸肋附着缺陷部的多余的凸肋成形材料等的凸肋规定剖面溢出材料进行整形加工的缺陷修正方法和装置，其具有修补膏充填机构(50)、膏剂烧固机构(60)、机械切削整形机构(70)、向与所述平面基板垂直的方向移动的垂直方向移动机构(80)、搭载所述充填机构、所述膏剂烧固机构和所述切削整形机构的头部、和向与所述平面基板平行的平面方向相对地移动的水平方向定位机构(40)，搭载在头部上的各机构与所述垂直方向移动机构联动。通过对各机构合理、有效地组合进行缺陷修正，能进行质量稳定的缺陷修正、并提高微细图形的修正效率。

公开(公告)号：CN100524587C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200310103675.0

申请日：2003-11-03

Applicant: NTN株式会社

Inventor： 矢田雄司 ,  清水茂夫 ,  德永宽哲 ,  藤川芳夫

IPC: H01J9/50

CPC classification number: Y02W30/828

Abstract: 本发明涉及一种平面基板的微细图形缺陷修正装置，具有：修补膏充填机构(50)、膏剂烧固机构(60)、机械切削整形机构(70)、垂直方向移动机构(80)，以及使搭载有上述机构的头部和平面基板向与平面基板平行的平面方向相对移动、并进行定位的水平方向定位机构(40)，搭载在头部上的各机构与垂直方向移动机构联动，垂直方向移动机构包含切入基准构件，机械切削整形机构包含微细图形上面规定剖面过剩材料加工工具，与微细图形上面接触的微细图形上面规定剖面过剩材料加工工具的推压力由多个微细图形上面分散地阻挡。通过对各机构合理有效地组合进行缺陷修正，能进行质量稳定的缺陷修正并提高微细图形的修正效率。