硬质层叠被膜
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103339282A

    公开(公告)日:2013-10-02

    申请号:CN201180066524.5

    申请日:2011-02-01

    Abstract: 对于本实施例的硬质层叠被膜20,通过将由(AlaCrbBc)的碳化物、氮化物、碳氧化物、氮氧化物、碳氮化物或碳氧氮化物构成的第1被膜22和由TiB2构成的第2被膜24在母材12、62、84的表面上交替地层叠而构成硬质层叠被膜20,构成第1被膜22的(AlaCrbBc)合金的原子比a、b、c存在a=1-b-c这样的相互关系,原子比b为0.2≤b≤0.7的范围内的值,原子比c为0<c≤0.2的范围内的值,第1被膜22的膜厚为0.1μm以上5.0μm以下,第2被膜24的膜厚为0.1μm以上5.0μm以下,硬质层叠被膜20的总膜厚为0.2μm以上10.0μm以下,因此获得在耐磨损性、耐热性、耐熔敷性和密合性(附着强度)上都能满足的特性。

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