-
公开(公告)号:CN109422849A
公开(公告)日:2019-03-05
申请号:CN201810886120.4
申请日:2018-08-06
Applicant: SK新技术株式会社
IPC: C08F220/14 , C08F212/08 , C08F220/34 , C08F212/14 , C08F8/14 , C08J3/24 , G03F7/039 , G03F7/11 , C08L33/12
Abstract: 本发明提供用于形成促进定向自组装图案形成的中性层的无规共聚物、用于形成包含所述无规共聚物的图案的层压板以及使用所述无规共聚物形成高质量图案的方法。
-
公开(公告)号:CN109422848B
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN201810754156.7
申请日:2018-07-11
Applicant: SK新技术株式会社
IPC: C08F220/14 , C08F212/08 , C08F220/36 , C08F212/14 , C09D133/14
Abstract: 本发明涉及促进形成定向自组装图案的用于形成中性层的无规共聚物及包含其的用于形成图案的层压体、利用其形成高品质图案的方法。
-
公开(公告)号:CN109422849B
公开(公告)日:2021-07-16
申请号:CN201810886120.4
申请日:2018-08-06
Applicant: SK新技术株式会社
IPC: C08F220/14 , C08F212/08 , C08F220/34 , C08F212/14 , C08F8/14 , C08J3/24 , G03F7/039 , G03F7/11 , C08L33/12
Abstract: 本发明提供用于形成促进定向自组装图案形成的中性层的无规共聚物、用于形成包含所述无规共聚物的图案的层压板以及使用所述无规共聚物形成高质量图案的方法。
-
公开(公告)号:CN109422848A
公开(公告)日:2019-03-05
申请号:CN201810754156.7
申请日:2018-07-11
Applicant: SK新技术株式会社
IPC: C08F220/14 , C08F212/08 , C08F220/36 , C08F212/14 , C09D133/14
Abstract: 本发明涉及促进形成定向自组装图案的用于形成中性层的无规共聚物及包含其的用于形成图案的层压体、利用其形成高品质图案的方法。
-
-
-