公开(公告)号：CN102576230B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201080047325.5

申请日：2010-09-16

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 酒濑川刚 ,  大岛裕太

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/00 ,  G01F1/692 ,  G05D7/03

CPC classification number: G01F5/00 ,  G01F1/684 ,  G05D7/005 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7768 ,  Y10T137/777 ,  Y10T137/87209

Abstract: 一种流控制器(10)，其包括流速检测单元(14)和流速控制单元(18)，该流速检测单元(14)具有用于检测流体的流速的检测单元(12)，该流速控制单元(18)被联接到流速检测单元(14)并且能够调节流体的流速。组成检测单元(12)的检测传感器(18)包括利用MEMS技术的热流量传感器，由检测传感器(18)检测的流体的流速被输出到控制单元(24)。另外，在流速控制单元(18)中，空气至供应室(84)的供应状态通过供应电磁阀(92)和排出电磁阀(94)中其中一个被切换，并且根据空气的供应状态，打开和闭合控制阀(58)。

公开(公告)号：CN102576230A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080047325.5

申请日：2010-09-16

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 酒濑川刚 ,  大岛裕太

IPC: G05D7/06 ,  G01F1/00 ,  G01F1/692 ,  G05D7/03

CPC classification number: G01F5/00 ,  G01F1/684 ,  G05D7/005 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/7768 ,  Y10T137/777 ,  Y10T137/87209

Abstract: 一种流控制器(10)，其包括流速检测单元(14)和流速控制单元(18)，该流速检测单元(14)具有用于检测流体的流速的检测单元(12)，该流速控制单元(18)被联接到流速检测单元(14)并且能够调节流体的流速。组成检测单元(12)的检测传感器(18)包括利用MEMS技术的热流量传感器，由检测传感器(18)检测的流体的流速被输出到控制单元(24)。另外，在流速控制单元(18)中，空气至供应室(84)的供应状态通过供应电磁阀(92)和排出电磁阀(94)中其中一个被切换，并且根据空气的供应状态，打开和闭合控制阀(58)。

公开(公告)号：CN3169520D

公开(公告)日：2000-12-13

申请号：CN00305271.0

申请日：2000-04-18

Applicant: SMC株式会社

Designer： 酒濑川刚

公开(公告)号：CN3169522D

公开(公告)日：2000-12-13

申请号：CN00305275.3

申请日：2000-04-18

Applicant: SMC株式会社

Designer： 酒濑川刚

公开(公告)号：CN3179271D

公开(公告)日：2001-03-07

申请号：CN00305273.7

申请日：2000-04-18

Applicant: SMC株式会社

Designer： 酒濑川刚

公开(公告)号：CN3169521D

公开(公告)日：2000-12-13

申请号：CN00305274.5

申请日：2000-04-18

Applicant: SMC株式会社

Designer： 酒濑川刚

公开(公告)号：CN3108707D

公开(公告)日：1999-04-28

申请号：CN98330352.5

申请日：1998-04-20

Applicant: SMC株式会社

Designer： 永井茂和 ,  酒濑川刚

Abstract: 1.左视图与右视图对称,故省略左视图。