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公开(公告)号：CN105318866A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510274848.8
申请日：2015-05-26
Applicant: TDK株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: H01L41/047 , G01C19/56 , G01C19/5607
Abstract: 本发明所涉及角速度传感器，其中，在压电元件中，压电体膜、设置在压电体膜的一个面的第1电极膜以及设置在压电体膜的另一个面的第2电极膜成为层叠结构，第1电极膜的外轮廓和第2电极膜的外轮廓位于从层叠方向看比压电体膜的外轮廓更靠外侧的位置，有机树脂膜接触于压电体膜，抑制了噪声的产生。
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