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公开(公告)号:CN118731113A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202410347839.6
申请日:2024-03-26
Applicant: TDK株式会社
Abstract: 本发明的技术问题在于,提供一种检测精度及响应性优异的气体传感器。本发明的气体传感器(1)是在绝缘膜之上设置有气体检测部(12)的气体传感器。气体检测部(12)具有:探测体(8)、和与探测体(8)接触的电极部(6)。电极部(6)具有:内侧电极部(62)、和配置为包围内侧电极部(62)的外侧电极部(63)。
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公开(公告)号:CN118706912A
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202410319155.5
申请日:2024-03-20
Applicant: TDK株式会社
IPC: G01N27/26
Abstract: 本发明涉及能够进行适当的湿度修正等且能够高精度地检测气体的气体传感器及气体检测方法。气体传感器具有:基材,其形成有腔室;第一绝缘膜,其形成于所述腔室上及所述腔室的周缘部、即腔室周缘部;第二绝缘膜,其重叠地形成于所述第一绝缘膜之上;加热器部,其形成于所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜之间;第一补偿用元件,其具有在所述腔室上的第一位置以第一形成面积形成且具有虚设材料的第一虚设材料部;第二补偿用元件,其具有在所述腔室上的第二位置以第二形成面积形成且具有所述虚设材料的第二虚设材料部;探测用元件,其具有在所述腔室上的第三位置具有与所述规定的气体反应的气体探测材料的探测材料部。
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公开(公告)号:CN118209597A
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202311718599.8
申请日:2023-12-14
Applicant: TDK株式会社
Abstract: 本发明提供一种气体传感器,其具有:基材,其中形成腔室;第一绝缘膜,其具有与上述基材的作为上述腔室的周缘部的腔室周缘部连接的多个梁部和经由上述梁部保持于上述腔室上的第一绝缘膜膜片部;第二绝缘膜,其层叠于上述第一绝缘膜的上侧;加热器部,其设置于上述第一绝缘膜膜片部的上侧;平坦部,其设置于上述第一绝缘膜膜片部和上述第二绝缘膜之间,且配置于从上方观察时比上述加热器部靠近上述第一绝缘膜膜片部的中心侧的位置,形成朝向上侧的平坦面;气体检测部,其至少经由上述第二绝缘膜配置于上述平坦部的上侧,具有比上述平坦面狭窄的面积。
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公开(公告)号:CN1235193C
公开(公告)日:2006-01-04
申请号:CN03104972.9
申请日:2003-02-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , G11B5/52 , G11B5/53
Abstract: 本发明的旋转头(10)具备:筒状的旋转滚筒(12);和磁头(20a),对在所述旋转滚筒(12)周围传输的磁带,进行信息记录或信息读取至少一方,磁头(20a)可向旋转滚筒(12)外侧移动地被支持。
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公开(公告)号:CN1441405A
公开(公告)日:2003-09-10
申请号:CN03104972.9
申请日:2003-02-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , G11B5/52 , G11B5/53
Abstract: 本发明的旋转头(10)具备:筒状的旋转滚筒(12);和磁头(20a),对在所述旋转滚筒(12)周围传输的磁带,进行信息记录或信息读取至少一方,磁头(20a)可向旋转滚筒(12)外侧移动地被支持。
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