公开(公告)号：CN113838775B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202110687832.5

申请日：2021-06-21

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 今井一郎 ,  坂本真二 ,  大西将马

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供了切割装置和切割品的制造方法，该切割装置具备心轴部、控制部和测量器。心轴部能够调整高度位置且安装有刀片。测量器构成为测量对象物的上表面的高度位置。控制部以基于通过测量器测量的对象物的高度位置在对象物形成临时槽的方式控制心轴部。控制部基于通过测量器测量的临时槽部分的高度位置调整心轴部的高度位置，之后，以基于通过测量器测量的工件的上表面的多个部位的每一个的高度位置在工件形成槽的方式控制心轴部。

公开(公告)号：CN113838775A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202110687832.5

申请日：2021-06-21

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 今井一郎 ,  坂本真二 ,  大西将马

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供了切割装置和切割品的制造方法，该切割装置具备心轴部、控制部和测量器。心轴部能够调整高度位置且安装有刀片。测量器构成为测量对象物的上表面的高度位置。控制部以基于通过测量器测量的对象物的高度位置在对象物形成临时槽的方式控制心轴部。控制部基于通过测量器测量的临时槽部分的高度位置调整心轴部的高度位置，之后，以基于通过测量器测量的工件的上表面的多个部位的每一个的高度位置在工件形成槽的方式控制心轴部。