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公开(公告)号：CN116783473A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202180091351.6
申请日：2021-12-24
Applicant: TOWA株式会社
IPC: G01N21/84
Abstract: 检查装置具备相机以及同轴照明。同轴照明包括半反射镜、光源部、板状构件以及调整部。半反射镜配置在连结检查对象物与相机的观察轴上，且相对于观察轴倾斜。光源部构成为从与观察轴不同的方向朝向半反射镜发光。由光源部发出的光在半反射镜反射并照射到检查对象物。板状构件配置在光源部与半反射镜之间。在板状构件中形成有多个狭缝，该些狭缝互相大致平行。调整部构成为调整板状构件的配置。
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